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瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT

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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
2024-12-11 14:04:25
上海市
日本
1384

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

【簡單介紹】

3C閥門類別	工業(yè)	流動方向	單向
應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子,汽車,電氣,綜合

瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
04.2 高真空傳輸閥與L-VAT
適用于裝載鎖和工藝室隔離

【詳細(xì)說明】

瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT

在腐蝕性工藝環(huán)境下提供可靠隔離采用 L-VAT 技術(shù)的 04.2 傳輸閥特別適合腐蝕性工藝，如蝕刻或 CVD。L-VAT 技術(shù)通過單軸氣動驅(qū)動器提供閥板的 J 型運(yùn)動。在 J 型運(yùn)動中，閥板在不接觸閥體的情況下垂直移動到關(guān)閉位置，在最后的運(yùn)動中被水平推到閥座上（密封件以固定力接觸閥座，該固定力與所連接的空氣壓力相關(guān)）。

為大程度地減少粒子的產(chǎn)生和生成，閥板配備了硫化密封件。盡管標(biāo)準(zhǔn) O 型密封圈可作為一種選擇，但這是一種比標(biāo)準(zhǔn) O 型密封圈更可靠、更耐用的密封解決方案。軸饋通件由高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

斷電時，04.2 系列可通過選配的止回閥氣動鎖定在關(guān)閉和打開位置。

04.2 高真空傳輸閥與L-VAT設(shè)計用于延長免維護(hù)運(yùn)行（在維護(hù)前開關(guān)次數(shù) ≤ 300 萬）。

04.2 系列已經(jīng)安裝在數(shù)百個各種半導(dǎo)體生產(chǎn)流程的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其的可靠性。04.2 系列具有堅固的設(shè)計，減少了維護(hù)量，使維護(hù)更方便，在各個方面都令人信服。

04.2 高真空傳輸閥與L-VAT始終根據(jù)客戶規(guī)格要求量身定制。盡管如此，四個基礎(chǔ)設(shè)計類型已預(yù)定義：兩種具有不同的后側(cè)開口的閥門類型和兩種帶有內(nèi)腔或外腔閥座的嵌入型閥門類型。

閥體材料選擇有硬質(zhì)陽極氧化鋁或鍍鎳鋁。閥板和閥蓋密封件采用氟橡膠或全氟橡膠材料。可根據(jù)要求使用其他密封材料。

瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT

04.2 高真空傳輸閥與L-VAT的主要特點(diǎn)

特點(diǎn)：

可在腐蝕性工藝條件下實(shí)現(xiàn)可靠運(yùn)行
平滑且低沖擊的運(yùn)動
采用避免粒子生成和產(chǎn)生的 L-VAT 技術(shù)
波紋管密封軸饋通件
免維護(hù)周期延長

優(yōu)勢：

正常運(yùn)行時間長/性能不受限
運(yùn)行快速
運(yùn)行成本低
瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT

技術(shù)數(shù)據(jù)

尺寸		46 x 236 mm 至 50 x 336 mm (1.81" x 9.29" to 1.97" to 13.23")
驅(qū)動器	氣動	雙作用，帶位置指示器
閥體材料		鋁
饋通件		波紋管
泄漏率	閥體	< 1 × 10-9 mbar ls-1
	閥座	< 1 × 10-9 mbar ls-1
壓力范圍		1 × 10-9 mbar to 1.2 bar（絕對壓強(qiáng)）
壓差	閥板上	≤ 1.2 bar
	打開時	≤ 30 mbar
首維護(hù)前開關(guān)次數(shù)		≥ 300萬次
溫度	閥體	≤ 50℃ 至 ≤ 120℃
	閥板	≤ 50℃ 至 ≤ 120℃
加熱和冷卻速率		≤ 40 °C h-1
閥座/閥板溫差		< 40 °C
材料	閥體、閥板、檢修蓋	EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211)
	軸、波紋管端件	AISI 316L (1.4435)
	波紋管	AISI 633 (AM 350)
密封	閥蓋	氟橡膠
	閥板	氟橡膠
安裝位置		驅(qū)動器可向下安裝
脈沖電磁閥		24 VDC，2.5 W（可根據(jù)要求提供其他值）
位置指示器：觸點(diǎn)額定值	電壓	≤ 50 VDC
	電流	≤ 250 mA
	電源	≤ 10 W
	連接	9 針 D 形超小型連接器
壓縮空氣連接	未配備電磁閥	內(nèi)部螺紋 ?“ ISO/NPT
	配備電磁閥	內(nèi)部螺紋 M5


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瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT

04.2 高真空傳輸閥與L-VAT的主要特點(diǎn)

技術(shù)數(shù)據(jù)

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