瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥 返回列表頁

適用于最小氣流的高精度計量59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥可以精確控制極小的氣流（1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1）。該系列閥門采用全金屬設(shè)計，是滿足超高真空和超高真空工藝中氣體計量要求的理想選擇。

59.0 系列的特殊控制功能確?？芍貜?fù)的精確氣流設(shè)置，增強了過程控制能力。其還能在整個使用壽命內(nèi)提供可靠的密封關(guān)閉，不會出現(xiàn)任何密封疲勞風(fēng)險。

此外，59.0 系列采用全金屬設(shè)計（高級不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘封），因此具有出色的抗腐蝕性和抗腐蝕性氣體特性。

59.0 系列已經(jīng)安裝在數(shù)百個各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性。其已成為超高真空和真空應(yīng)用中可變泄漏閥的標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥提供 DN為16 mm (5/8") 的角閥或內(nèi)聯(lián)閥，帶手動驅(qū)動器，或帶配有步進電機的集成式或可拆卸壓力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根據(jù)烘烤過程中的情況，可以在烘烤過程中取下驅(qū)動器。標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 CF-R，固定到位。

隔膜采用“硬對硬"密封技術(shù)，閥門在整個使用壽命內(nèi)可進行 40 萬次控制循環(huán)和 1 萬次密封關(guān)閉循環(huán)，無需任何維護，其可作為零部件使用，并且易于更換。