產(chǎn)品展示

DIS-251日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵

【簡(jiǎn)單介紹】

日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵
? 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
? 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
? 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
? 低振動(dòng)低噪音

【詳細(xì)說明】

日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵一、特性

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。

• 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。

• 低振動(dòng)低噪音。

• 維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。

日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵二、應(yīng)用

• 分析設(shè)備

• 氣體回收系統(tǒng)

• 涂料設(shè)備

• TMP 前級(jí)泵

• 氦滲漏探測(cè)器

• 半導(dǎo)體制造工藝

三、規(guī)格參數(shù)


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