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| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 多級(jí) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子,綜合 |
該系統(tǒng)由德國(guó)的前級(jí)無油泵，后級(jí)分子泵，真空傳感器和電子控制系統(tǒng)和LED液晶顯示組成，此系統(tǒng)是用來抽吸或壓縮空氣和其它無腐蝕性、不溶于水、不含有固體顆粒的氣體，以便在封閉容器中形成真空和壓力，吸入氣體中允許混有少量液體。它被廣泛用于新能源材料，金屬材料，磁性材料，半導(dǎo)體材料，陶瓷材料，電化學(xué)，薄膜材料，CVD,PECVD ,石墨烯，硅納米管，納米線，等研究領(lǐng)域