1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)

這是一臺(tái)1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)。本設(shè)備按客戶要求加裝剛玉管一支，加熱爐，循環(huán)泵、排風(fēng)系統(tǒng)、機(jī)架等。電氣控制采用內(nèi)置控溫儀表，其控溫精準(zhǔn)且操作直觀簡(jiǎn)便。爐管為剛玉管，外徑￠60m，長(zhǎng)度1000mm。爐管橫放固定于爐膛內(nèi)。左端法蘭為進(jìn)氣端，配有壓力保護(hù)組件和2個(gè)進(jìn)氣口，其中一路由截止閥控制，為進(jìn)混氣；另外一路為環(huán)硼氮烷，通過電磁閥+單向閥控制；右端法蘭為出氣端，配有蝶閥控制的壓力控制系統(tǒng)和真空泵組成，法蘭前端配有攪拌機(jī)構(gòu)，對(duì)于尾端沉積物料具有清理作用，同時(shí)配有過濾組件。設(shè)備進(jìn)氣端液態(tài)源蒸發(fā)組件制冷制熱由循環(huán)泵工作，通過循環(huán)泵工作，以及管道保溫及腔體保溫隔絕等方法實(shí)現(xiàn)低溫、高溫下的切換。液態(tài)源密封腔室和加熱爐密封腔室，均通過PVC管道連接至腔室頂部，通過管道風(fēng)機(jī)與客戶排風(fēng)系統(tǒng)對(duì)接。這臺(tái)1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)設(shè)備采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式。爐體和門板顏色采用深灰+時(shí)尚橘紋白。設(shè)備簡(jiǎn)約又不乏穩(wěn)重，更具備操作直觀方便、控溫精確等性能。