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等離子清洗機(jī)主要適用于各種材料的表面改性處理∶表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學(xué)氣相沉積。
等離子清洗機(jī)(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合,通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.
等離子清洗機(jī)的各種應(yīng)用:
表面改性:紙張粘合,塑料粘接、金屬錫焊、電鍍前的表面處理;
表面活化:生物材料的表面修飾,印刷涂布或粘接前的表面處理,如紡織品的表面處理;表面刻蝕:硅的微細(xì)加工,玻璃等太陽(yáng)能領(lǐng)域的表面刻蝕處理,醫(yī)療器皿表面刻蝕處理;表面接枝:材料表面特定基團(tuán)的產(chǎn)生和表面活化的固定;
表面沉積:疏水性或親水性層的等離子體聚合沉積;
等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領(lǐng)域,等離子體清洗機(jī)應(yīng)用于光電、電子、聚合物科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微流體力學(xué)等領(lǐng)域。例如:準(zhǔn)確清洗小零件和微零件;涂膠前激活塑料零件;腐蝕和去除聚四氟乙烯、光刻膠等各種材料;以及疏水和親水涂層。減摩涂層等零件。等離子清洗機(jī)還可以處理金屬。半導(dǎo)體氧化物和大多數(shù)聚合物材料;可以精細(xì)清洗整體、局部和復(fù)雜的結(jié)構(gòu)
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