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自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀/自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀

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自動橢圓偏振測厚儀//自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀 

型號：TP-TPY-2

產(chǎn)品特點：
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
 
規(guī)格與主要指標：
測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm     折射率范圍：1-10   
測量zui小示值：≤1nm                  入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度：每格1度                    允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步進角：0.014°/步               偏振器方位角范圍：0°- 180°    
測量膜厚和折射率重復性精度分別為：0.5nm和0.005
儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）
光學中心高度：80mm   
 
成套性：主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計算機）
主機重量：26kg    外形尺寸：680*390*310mm

裝箱單

序號

名      稱  

規(guī)格或型號

數(shù)量

備 注

1

自動橢圓偏振測厚儀主機

TP-TPY-2

1臺

2

主機電控箱

TP-TPY-2

1臺

3

Q9連接線

1根

4

數(shù)據(jù)連接線

1根

5

電源線

2根

6

15線連接電纜

1根

7

USB連接電纜

1根

8

二氧化硅膜樣片

1張

９

軟件安裝盤

TP-TPY-2

1張

10

使用說明書

TP-TPY-2

1份

11

裝箱單

TP-TPY-2

1份

12

產(chǎn)品合格證

TP-TPY-2

1份

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