熱式氣體質(zhì)量流量控制器 返回列表頁(yè)

編號(hào)

項(xiàng)目

S48 32/HMT

1

流量規(guī)格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;

(1,2,3,5,10,20,30)L/min

2

調(diào)節(jié)閥類(lèi)型

電磁調(diào)節(jié)閥

3

調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)

常閉

4

安裝方向

任意

5

流量控制范圍

2%-

6

流量測(cè)量范圍

(0-100)%

7

零點(diǎn)溫漂

0.6%F.S.(15~35℃)

8

響應(yīng)時(shí)間 

2s(T98,設(shè)定值的±2%F.S.)

9

工作環(huán)境溫度

5~50℃

10

精度保證溫度

15~35℃

11

精度

±1.0%F.S

12

線性

±0.5%F.S

13

重復(fù)精度

±0.2%F.S

14

工作壓差范圍

~5L/min:(0.05-0.3)MPa

10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa

15

耐壓

3MPa

16

漏率

1×10^-8Pa.m³/s(He)

17

管路接頭

1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm

18

供電電源

±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA

19

設(shè)定信號(hào)

(0-5)VDC 

輸入阻抗>1MΩ

20

流量輸出信號(hào)

(0-5)VDC

負(fù)載輸出電流能力≤3mA

21

電氣接頭

D-SUB15

22

尺寸 (mm)

113（寬）×121（高）×32（厚）