智能勻膠機 型號：SC-100

SC-100智能勻膠機主要適用于半導體硅片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃等工藝制版及表面涂覆，各種光刻膠表面膜制備。  
系統(tǒng)配置高速變頻馬達，變頻控制涂膠轉(zhuǎn)速、時間，使整個涂膠過程，穩(wěn)定。 
SC-100智能勻膠機

主要技術(shù)指標
 系統(tǒng)支持10個工藝組存儲，每個工藝組可設(shè)置4段運行速度及運行時間 
  勻膠速度：  0～8000rmp可調(diào) 
  勻膠時間：  1～9999s任意時間可設(shè)置 
  旋轉(zhuǎn)加速度：0～12000rpm/sec   由低速到高速加速時間0.1s～0.5s 
  轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1rmp 
  涂膠均勻性：±3% 
  可鍍膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞） 
  基片厚度：  ≤5mm 
SC-100智能勻膠機

其 它 配 置設(shè)備配置Ф260mm接膠裝置（不銹鋼材質(zhì)） 
電機額定功率90W，額定轉(zhuǎn)速8000rmp 
真空系統(tǒng)：FY-1C真空泵一臺，抽氣速率60L/min(標配) 
  AP-500V無油真空泵，抽氣速率100L/min（選配） 
樣片托：隨機配1英寸一個，2英寸一個，其它規(guī)格尺寸按要求定做。 
輸入電源： AC220V/240V  50HZ 
機身尺寸： 280×360×240mm 
機身重量：10Kg