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高速掃描電子顯微鏡返回列表頁

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)HEM6000

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所在地北京市

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更新時(shí)間：2024-11-19 08:13:56瀏覽次數(shù)：1461次

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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,綜合

HEM6000是一款可實(shí)現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺(tái)減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時(shí)保證了納米級(jí)分辨率。
高速掃描電子顯微鏡面向應(yīng)用場(chǎng)景的自動(dòng)化操作流程設(shè)計(jì)，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

圖像采集速度

10 ns/pixel，2*100 M pixel/s

加速電壓

100 V~6 kV(減速模式) ； 6 kV~30 kV(非減速模式)

分辨率

1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE

視場(chǎng)大小

最大視場(chǎng)1*1 mm2，高分辨微畸變視場(chǎng)32*32 um2

樣品臺(tái)精度

重復(fù)定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um

高速掃描驅(qū)動(dòng)器

駐點(diǎn)時(shí)間10 ns/pixel，

最快采集速度2*100 M pixel/s

電子過濾系統(tǒng)

SE/BSE信號(hào)自由切換，

MIX成像信號(hào)比例可調(diào)

全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)

可實(shí)現(xiàn)高分辨大場(chǎng)模式，

4 nm像素點(diǎn)最大視場(chǎng)達(dá)32*32 um2

樣品臺(tái)減速技術(shù)

降低入射電子落點(diǎn)電壓，

同時(shí)提高回收電子的收集效率

浸沒式電磁復(fù)合物鏡

物鏡磁場(chǎng)浸沒樣品

實(shí)現(xiàn)了低像差高分辨率

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

高速自動(dòng)化

全自動(dòng)上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的 5 倍

大場(chǎng)低畸變

跟隨掃描場(chǎng)動(dòng)態(tài)變化的光軸，實(shí)現(xiàn)了更低的場(chǎng)邊緣畸變

低壓高分辨

樣品臺(tái)減速技術(shù)，實(shí)現(xiàn)低落點(diǎn)電壓，同時(shí)保證高分辨率

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體工業(yè)

生命科學(xué)

材料科學(xué)

地質(zhì)科學(xué)

應(yīng)用案例

芯片（金屬層）/ 116x / BSE / 120 ns

芯片（器件層） / 2000x / BSE / 40 ns

芯片（金屬層）/ 1200x / BSE / 120 ns

芯片（器件層） / 1200x / BSE / 120 ns

生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns

生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns

生物切片 / 116x / BSE / 120 ns

指標(biāo)	HEM6000	常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
像素尺寸(單張)	8192*8192
像素點(diǎn)時(shí)間	120 ns（點(diǎn)/行/幀平均數(shù)：6/2/1）	800 ns
像素大小	16 nm
拍攝總面積	2 mm2
拍攝總時(shí)間	25分32秒	>140分

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率		1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE；
			2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
	加速電壓		100 V~6 kV(減速模式)
			6 kV~30 kV(非減速模式)
	放大倍率		66~1,000,000x
	電子槍類型		高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
	物鏡類型		浸沒式電磁復(fù)合物鏡
樣品裝載系統(tǒng)	真空系統(tǒng)		全自動(dòng)控制，無油真空系統(tǒng)
	樣品監(jiān)控		樣品倉監(jiān)控水平攝像頭；換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭
	樣品最大尺寸		直徑4英寸
	樣品臺(tái)	類型	電機(jī)驅(qū)動(dòng)3軸樣品臺(tái)（*可選配壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)）
		行程	X、Y軸：110mm； Z軸：28mm；
		重復(fù)定位精度	X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm；
	換樣方式		全自動(dòng)控制
	換樣時(shí)間		＜15 min
	換樣倉清洗		全自動(dòng)控制等離子清洗系統(tǒng)
圖像采集與處理	駐點(diǎn)時(shí)間		10 ns/pixel
	圖像采集速度		2*100 M pixel/s
	圖像大小		8K*8K
探測(cè)器和擴(kuò)展	標(biāo)配		鏡筒內(nèi)混合電子探測(cè)器
	選配		低角度背散射電子探測(cè)器
			鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測(cè)器
			壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
			高分辨大場(chǎng)模式
			樣品倉等離子清洗系統(tǒng)
			6英寸樣品裝載系統(tǒng)
			主動(dòng)減震臺(tái)
			AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu)
軟件	語言		中文
	操作系統(tǒng)		Windows
	導(dǎo)航		光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航
	自動(dòng)功能		自動(dòng)樣品識(shí)別、自動(dòng)選區(qū)拍攝、自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散