北京圣達駿業(yè)科技有限公司
中級會員 | 第8年

18600536779

當(dāng)前位置：北京圣達駿業(yè)科技有限公司>>暖通環(huán)保>>檢測儀>> Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

更新時間：2024-11-20 11:09:37瀏覽次數(shù)：413次

聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)
同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品更多>
產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,綜合
Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀實現(xiàn)亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應(yīng)力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。實用于透明、硅、化合物半導(dǎo)體和金屬基底。

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀實現(xiàn)亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應(yīng)力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。實用于透明、硅、化合物半導(dǎo)體和金屬基底。在3分鐘內(nèi)掃描并顯示150毫米晶圓?？梢詷?biāo)刻出缺陷的位置，以便進一步分析。 可容納高達300 x 300 mm的非圓形和易碎基板。 能夠通過一次掃描分離透明基板上的頂部/底部特征。

產(chǎn)品特點：

  • 實現(xiàn)亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應(yīng)力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。

  • 實用于透明、硅、化合物半導(dǎo)體和金屬基底。

  • 在3分鐘內(nèi)掃描并顯示150毫米晶圓。

  • 可以標(biāo)刻出缺陷的位置，以便進一步分析。

  • 可容納高達300 x 300 mm的非圓形和易碎基板。

  • 能夠通過一次掃描分離透明基板上的頂部/底部特征。

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀系統(tǒng)優(yōu)勢的四個檢測通道：

  • 偏光（污漬、薄膜不均勻性） 

  • 坡度（劃痕、表面形貌）

  • 反射率（內(nèi)應(yīng)力、條紋）

  • 暗場（顆粒、夾雜物）



AT1應(yīng)用：

1.透明基底上的缺陷

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀



2.單層污漬或薄膜不均勻性

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

3.化合物半導(dǎo)體的晶體缺陷

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀

在化合物半導(dǎo)體基底和外延生長層上檢測和分類多種類型的晶體缺陷

AT1的多用途：

  • 缺陷類型

  • 薄厚基板

  • 透明和不透明基板

  • 電介質(zhì)涂層

  • 金屬涂層

  • 鍵合硅片

  • 開發(fā)和在線生產(chǎn)


AT1 軟件使用來自多個探測器任意組合的數(shù)據(jù)生成缺陷圖和報告：

  • 地圖和位置

  • 缺陷數(shù)量

  • 彩色編碼缺陷

  • 缺陷尺寸


Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀



會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏！
標(biāo)簽：
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

常用：

提示

X
您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復(fù)您~
撥打電話
在線留言