馬爾文帕納科

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[供應(yīng)]馬爾文帕納科2830 ZT 晶圓分析儀

貨物所在地:國(guó)外

更新時(shí)間:2024-09-18 21:00:06

有效期:2024年9月18日 -- 2025年3月18日

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2830 ZT 波長(zhǎng)色散 X 射線熒光 (WDXRF) 圓晶分析儀提供了用于測(cè)量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 圓晶分析儀專(zhuān)門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)而設(shè)計(jì),該儀器可為多種晶片(厚達(dá) 300 mm)測(cè)定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜度和表面均勻性。

特點(diǎn)

持續(xù)的性能和速度

傳統(tǒng) X 射線管會(huì)出現(xiàn)鎢燈絲揮發(fā),從而導(dǎo)致光管鈹窗內(nèi)部出現(xiàn)沉淀物污染鈹窗。 使用此類(lèi) X 射線管的儀器需要定期進(jìn)行漂移校正以補(bǔ)償下降的強(qiáng)度,尤其是對(duì)于輕元素而言。 

2830 ZT 配置SuperQ 軟件,該軟件包含了 FP Multi - 一個(gè)專(zhuān)門(mén)針對(duì)多層分析開(kāi)發(fā)的專(zhuān)用軟件包。 該軟件的用戶界面確保即使是沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的操作員也可以對(duì)多層進(jìn)行全自動(dòng)的基本參數(shù)分析。
該儀器的 SuperQ 軟件具有多種易于使用的模塊,這些模塊能夠方便研究者和工程師進(jìn)行靈活的操作。 可以輕松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。

可輕松集成到任意實(shí)驗(yàn)室或晶片廠中:從簡(jiǎn)單的人工托架裝載到全自動(dòng)。 *靈活的設(shè)計(jì)讓晶片廠經(jīng)理能夠選擇 FOUP、SMIF 或開(kāi)放式裝入端口,配有一個(gè)或兩個(gè)裝入端口配置。 各種配置的 FALMO-2G 均受到符合 GEM300 的軟件支持。 FALMO-2G 的占地空間大大降低,而沒(méi)有損失靈活性、功能。 

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