郭（同）

RTS-1345型全自動(dòng)四探針測試系統(tǒng)

可對樣品進(jìn)行單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的全自動(dòng)測試；

屏蔽測試，*消除光線對樣品測試的影響，保證測量的準(zhǔn)確性；

吸附測試，*消除全自動(dòng)測試過程中樣品移動(dòng)對測試的影響；

可不連接電腦使用進(jìn)行單點(diǎn)、中心五點(diǎn)、邊緣五點(diǎn)測試并把測試結(jié)果同時(shí)顯示于顯示屏；

RTS-1345型全自動(dòng)四探針測試系統(tǒng)是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合全自動(dòng)測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機(jī)、測試臺(tái)、四探針探頭、真空泵、屏蔽罩、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制進(jìn)行全自動(dòng)測試，然后把測試數(shù)據(jù)采集到計(jì)算機(jī)中加以分析，以表格、圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。

RTS-1345型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

技術(shù)指標(biāo) ：

測量范圍電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；  
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)； 
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm； 
電阻：0.0001～2000Ω.cm； 

可測晶片直徑 Φ=200mm；

恒流源電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；

 四探針探頭基本指標(biāo)間距：1±0.01mm；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測量zui大相對誤差(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%

測試模式連接電腦使用可對樣品進(jìn)行單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的全自動(dòng)測試，不連接電腦情況下可進(jìn)行單點(diǎn)、中心五點(diǎn)、邊緣五點(diǎn)測試并把測試結(jié)果同時(shí)顯示于顯示屏。消除測試過程中影響因素屏蔽和吸附測試，*消除光線和全自動(dòng)測試過程中樣品移動(dòng)對樣品測試的影響，保證測量的準(zhǔn)確性。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射；

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