韓國linetech質(zhì)量流量控制器耐壓90bar,可測量腐蝕性氣體,結(jié)構(gòu)緊湊,重復(fù)性高,響應(yīng)時(shí)間快,性價(jià)比高,可廣泛用于設(shè)備配套。韓國LINETECH經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器Z大流量可測到300SLPM,質(zhì)量流量計(jì)的Z大流量可測到1000SLPM。
 
				        
				            一、linetech質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
    - 測量質(zhì)量流量
- 無需溫度和壓力補(bǔ)償
- 結(jié)構(gòu)緊湊
- 精度高
- 工作壓力高
- 響應(yīng)時(shí)間快
- 重復(fù)性高
二、linetech質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
                        | 型號 | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量控制器 | 
                    | 流量范圍(N2) |   10SCCM~1000SLPM |   10SCCM ~ 300slpm | 
                    |   響應(yīng)時(shí)間 |   <2 sec |   <2 sec | 
                    | 精準(zhǔn)度 |   ≤±1% FS |   ≤±1% FS | 
                    |   重復(fù)精度 |   ±0.25% FS |   ±0.25% FS | 
                    |   輸入/輸出信號 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |   0~5 Vdc OR 4~20 mA | 
                    | 供電電源 |   ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |   ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | 
                    |  耐壓 |   <90bar |   0-30SLPM,<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar | 
                    | 工作環(huán)境溫度 |   0~50 °C |   0~50 °C | 
                    | 漏率 |   1*10E-9 atm cc/sec |   1*10E-9 atm cc/sec | 
                    | 使用范圍 |   2 ~ 100% |   2~ 100% | 
    
 
三、linetech質(zhì)量流量控制器接口尺寸

