上海壹僑優(yōu)勢(shì)供應(yīng)德國(guó)英?？礗NFICON殘余氣體分析儀、INFICON粒子檢測(cè)器、INFICON薄膜沉積控制器、INFICON監(jiān)控器、INFICON檢漏儀、INFICON真空計(jì)、INFICON配件、INFICON射頻傳感器。

Protec P3000 Helium Leak Detector, 115 V 520-002
Protec P3000 Helium Leak Detector, 230 V 520-001
Protec P3000XL Helium L Detector, 115 V 520-004
Protec P3000XL Helium L Detector, 230 V 520-003

Adapter for custom SL P3000 / E3000 525-005
Adapter for custom SL Protec P3000XL 521-015
cable 5 m, fits to 551-100 551-102
Connecting cable ext. display unit, 0.7m 551-103
Cover test leak opening P3000/E3000 525-007
Display unit, rack mounting 551-101
Display unit, table top 551-100
Holder for SL3000 525-006
Oil / Water Protection Tip for SL3000XL 521-016
SL3000-10, 10m length 525-003
SL3000-15 for Ecotec E3000, 15m length 525-004
SL3000-3, 3m lengths 525-001
SL3000-5, 5m length 525-002
SL3000XL-10, 10m lengths 521-013
SL3000XL-15, 15m lengths 521-014
SL3000XL-3, 3m lengths 521-011
SL3000XL-5, 5m lengths 521-012
Sniffer probe FT 312 12214
Sniffer probe FT250XL, 250 mm, flexible 521-022
Sniffer probe FT385 12216
Sniffer probe ST200 12218
Sniffer probe ST385 12215
Sniffer tip FT250 12266
Sniffer tip FT312XL, 120 mm, flexible 521-019
Sniffer tip FT385XL, 385 mm, flexible 521-021
Sniffer tip FT600 12209
Sniffer Tip ST 312 12213
Sniffer tip ST312XL, 120 mm, rigid 521-018
Sniffer tip ST385XL, 385 mm, rigid 521-020
Water protection tip for Protec / Ecotec 12246
05Filter pads (25 pcs.) for SL3000XL 521-023
Helium sniffer leak standard S-TL4 12237
Helium sniffer leak standard S-TL5 12238
Helium sniffer leak standard S-TL6 12239
PRO-CHECK reference leak, Helium 521-001
Spare Filter for Oil/Water Protection Ti 521-017
Spare Helium gas cartridge for PRO-Check 521-010

按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計(jì)分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。

利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

折疊波爾登規(guī)(Bourdon)
波爾登規(guī)
波爾登規(guī)
如右圖所示，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會(huì)有舒展現(xiàn)象，會(huì)帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值。

這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm。

折疊薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī)
如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測(cè)量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。

這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí)，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。

折疊皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī)
也叫做熱電阻真空計(jì)，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。

如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí)，由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同，通過測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。

如果配合電橋測(cè)量熱絲電阻的變化，將有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。

這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。

折疊熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)
如右圖所示，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理*，只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測(cè)量熱比的溫度變化。

測(cè)量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。

與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。

折疊熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)
如右圖所示，熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過測(cè)量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到氣壓大小。

這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。

經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測(cè)量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定。

折疊冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī)
如右圖所示，冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測(cè)量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。

這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。

與熱陰極電離規(guī)同樣的原因，這種規(guī)在使用時(shí)需要在不同氣體下標(biāo)定。

折疊編輯本段量程范圍
在較高壓力時(shí)(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì)，薄膜計(jì)，彈簧管壓力計(jì)等[1] 。

在10~10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。

在低壓力時(shí)，使用將氣體分子電離而測(cè)量的電離真空計(jì)。

表2 真空計(jì)的適用壓力范圍

德國(guó)英?？礗NFICON PCG410511-010德國(guó)英福康INFICON PCG410511-010