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利用白光干涉測(cè)量法的原理，NanoCalc用一個(gè)寬波段的光源來(lái)測(cè)得不同波長(zhǎng)的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc根據(jù)這一特性來(lái)進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc中，不同類(lèi)型材料的相應(yīng)參數(shù)通過(guò)不同的模型來(lái)描述，
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
利用白光干涉測(cè)量法的原理，NanoCalc用一個(gè)寬波段的光源來(lái)測(cè)得不同波長(zhǎng)的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc根據(jù)這一特性來(lái)進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc中，不同類(lèi)型材料的相應(yīng)參數(shù)通過(guò)不同的模型來(lái)描述，
詳細(xì)介紹
膜厚系統(tǒng)光譜儀
NanoCalc光學(xué)膜厚系統(tǒng)光譜儀
NanoCalc是一種用戶(hù)可配置的膜厚測(cè)量系統(tǒng)。精確地測(cè)量光學(xué)或非光學(xué)薄膜厚度，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療和工業(yè)生產(chǎn)中。
利用白光干涉測(cè)量法的原理，NanoCalc用一個(gè)寬波段的光源來(lái)測(cè)得不同波長(zhǎng)的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc根據(jù)這一特性來(lái)進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc中，不同類(lèi)型材料的相應(yīng)參數(shù)通過(guò)不同的模型來(lái)描述，從而保證了不同類(lèi)型材料膜厚測(cè)量的準(zhǔn)確性。NanoCalc的膜厚測(cè)量范圍為1nm到1mm，只要待測(cè)材料有一定的透射或反射就能通過(guò)NanoCalc進(jìn)行膜厚測(cè)量，這些材料包括氧化物、氮化物和保護(hù)膜層等，通常這些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃燈。
1nm以上的金屬膜厚也能測(cè)量，只要不是*不透光的。對(duì)于已知的系統(tǒng)，3層以?xún)?nèi)的多層膜厚測(cè)量可以在不到一秒鐘時(shí)間內(nèi)完成。
通常擬合曲線和實(shí)際曲線由于干涉會(huì)引起一些差異，NanoCalc的算法充分考慮到了這一點(diǎn)，從而可以在比較粗糙的表面進(jìn)行測(cè)量。
產(chǎn)品主要優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn)
- UV/VIS/NIR高分辨率的配置
- 測(cè)量準(zhǔn)確度在1nm，精度在0.1nm
- 可測(cè)量zui大10層薄膜
- 膜厚測(cè)量zui小可至1nm，zui大可至1mm
- 可測(cè)量zui小1nm厚的透明金屬層
- 提供試驗(yàn)臺(tái)及附件用于復(fù)雜外形材料的測(cè)量
- 對(duì)表面缺陷和光滑度不敏感
- 龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫(kù)，保證各種材料的精確測(cè)量
快 速： | 每次測(cè)量只需輕點(diǎn)一下鼠標(biāo)，測(cè)量結(jié)果立即呈現(xiàn)在顯示屏上，不到一秒鐘。應(yīng)用于在線模式下，可接受到采樣信號(hào)后，立即測(cè)量。 |
準(zhǔn) 確： | 分辨率0.1nm，重復(fù)性0.3nm，準(zhǔn)確度優(yōu)于1%，并且還有數(shù)百種材料組成的龐大材料庫(kù)，幫助您準(zhǔn)確分析您的薄膜。同時(shí)NanoCalc為光學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，無(wú)任何運(yùn)動(dòng)部件，不會(huì)由于多次測(cè)量產(chǎn)生回程誤差等機(jī)械運(yùn)動(dòng)誤差，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。 |
無(wú) 損： | 光學(xué)無(wú)損檢測(cè)，無(wú)需像臺(tái)階儀、SEM等需破壞樣品進(jìn)行測(cè)量。 |
靈 活： | 重量約為3.5kg，體積為180*150*263mm，USB連接方式，自適應(yīng)90-240V的電壓，攜帶方便，安裝簡(jiǎn)單，可任意放置于實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)線甚至辦公桌上使用。擁有多種特種配件，可適用如非平面測(cè)量，顯微測(cè)量，mapping等特殊要求。 |
易 用： | 軟件界面直觀，操作簡(jiǎn)便，用戶(hù)體驗(yàn)出色。無(wú)需專(zhuān)業(yè)知識(shí)以及復(fù)雜的技術(shù)培訓(xùn)，預(yù)先設(shè)置好測(cè)試配方后，每次重復(fù)調(diào)用即可。 |
性?xún)r(jià)比高： | 相對(duì)于傳統(tǒng)膜厚測(cè)量設(shè)備，NanoCalc擁有非常高的性?xún)r(jià)比。 |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體 SiO2 光刻膠 SOI等 |
LCD/TFT/PDP 液晶盒厚 聚亞酰胺 ITO等 |
LED SiO2 光刻膠 ITO等 |
觸摸屏 ITO AR Coating 反射/透射率測(cè)試等 |
汽車(chē) 防霧層 Harding Coating DLC等 |
醫(yī)學(xué) 聚對(duì)二甲苯涂層 球囊/導(dǎo)管壁厚 藥膜等 |
太陽(yáng)能 TCO CIGS CdS/CdTe A-Si等 |
聚合物薄膜 PET PC 亞克力等
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眼鏡 AR Coating Harding Coating
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技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品型號(hào) | NanoCalc-VIS | NanoCalc-XR | NanoCalc-DUV |
| 波長(zhǎng) | 350-1000nm | 250-1100nm | 200-1100nm |
| 厚度范圍 | 50nm-100um | 10nm-100um | 1nm-100um |
| 產(chǎn)品型號(hào) | NanoCalc-NIR | NanoCalc-VIS-NIR | NanoCalc-XR-NIR |
| 波長(zhǎng) | 900-1700nm | 350-1700nm | 250-1700nm |
| 厚度范圍 | 100nm-250um | 50nm-150um | 10nm-250um |
| 分辨率 | 0.1nm | ||
| 可重復(fù)性 | 0.3nm | ||
| 準(zhǔn)確度 | <1%（50nm-100um） | ||
| 層數(shù) | 1~10層 | ||
| 距光纖距離 | 1~5mm | ||
| 距鏡片距離 | 5-100mm | ||
| 入射角 | 90°通常 | ||
| 光斑大小 | 400um | ||
| 顯微光斑大小 | 1-20um | ||
| 光纖長(zhǎng)度 | 2m（可定制） | ||
| 通訊接口 | USB/RS232 | ||
| 功耗 | 12VDC,1.2A | ||
| 電源 | 90-240VAC 50/60HZ | ||