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我司有各類專業(yè)吸附劑，吸附劑也稱吸收劑，氣體吸附分離成功與否，極大程度上依賴于吸附劑的性能，因此選擇吸附劑是確定吸附操作的首要問題。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
我司有各類專業(yè)吸附劑，吸附劑也稱吸收劑，氣體吸附分離成功與否，極大程度上依賴于吸附劑的性能，因此選擇吸附劑是確定吸附操作的首要問題。
詳細(xì)介紹
一想到半導(dǎo)體行業(yè)，大家想到的是機(jī)械生產(chǎn)，材料，電子電器，與污染兩個(gè)字似乎也沒有什么關(guān)系。但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機(jī)物和無機(jī)物，包括許多有毒有害物質(zhì)，對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重。如不通過尾氣處理設(shè)備對(duì)廢氣尾氣加以控制，將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
半導(dǎo)體尾氣處理器
等離子水洗Local Scrubber設(shè)備，干式等
該設(shè)備主要去除半導(dǎo)體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產(chǎn)生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
噴淋塔
對(duì)于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ，半導(dǎo)體廠封閉車間大都采用大型臥式洗滌塔進(jìn)行廢氣處理。