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上海申思特自動化設備有限公司
主營產品： 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風,丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
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2016-12-14 閱讀(761)
集成雙穩(wěn)態(tài)微PILZ電磁繼電器工藝及其性能
繼電器是一種常用的基本機電元件,在航空航天領域、計算機、通訊等領域中起著十分重要的作用。通訊繼電器是繼電器主要應用方向之一,其產值大約占整個繼電器產業(yè)的四分之一,并且是繼電器產品中技術含量和附加值較高的一部分。
集成雙穩(wěn)態(tài)微PILZ電磁繼電器工藝及其性能
在此背景下,研制出了一種新型的微電磁驅動器,它由帶懸臂梁的鎳彈性平臺,彈性平臺背面的坡莫合金驅動片,帶鐵芯的平面線圈電磁驅動器。平面線圈由上下兩層線圈構成。它的基本工作原理是利用電流在平面線圈中產生的磁場力來實現(xiàn)對鎳彈性平臺的驅動。在平面線圈的中間和四周電鍍有坡莫合金,使平面線圈和驅動片構成磁路系統(tǒng)。針對理論分析部分所確定的部件結構參數(shù),引入聚酰亞胺絕緣層工藝,采用多次掩膜光刻和電鍍的工藝來制作雙層銅線圈;在彈性平臺的制作上采用了玻璃襯底打底去膠制造工藝,同時本文通過甩SU8膠來實現(xiàn)鎳彈性平臺和墊片的集成工藝,該工藝的實現(xiàn)證明了集成的可能性,為下一步實現(xiàn)整體集成打下了基礎;還完成了彈簧、墊片、線圈的整體集成工藝的摸索,提出了實現(xiàn)整體集成的方案,為下一代微繼電器的整體集成制造指明了方向。工藝實現(xiàn)后,對該微PILZ電磁繼電器的性能進行了一系列的測試:對彈簧的彈性系數(shù)的測試,通過實驗測出的磁力和位移的曲線關系來擬合出彈簧的彈性系數(shù);對平面線圈型微PILZ電磁繼電器的靜態(tài)性能的測試,自主搭建了測試平臺,利用測量顯微鏡等設備測量了微電磁驅動器的輸出特性;雙穩(wěn)態(tài)調試的測試,通過實驗找到了這種MEMS微PILZ電磁繼電器的雙穩(wěn)態(tài)工作點,驗證了雙穩(wěn)態(tài)微電磁驅動器原型的可行性;位移動態(tài)響應的測試,研究了該微PILZ電磁繼電器的動態(tài)響應,分析了在不同電壓、脈寬以及氣隙的條件下彈性平臺的動態(tài)響應,通過實驗結果找出了能穩(wěn)定實現(xiàn)開-關轉換效果的電學參數(shù),為下一代實現(xiàn)響應更快,更加穩(wěn)定的微開關打下了堅實的基礎。
