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上海申思特自動化設備有限公司
主營產品： 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風,丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
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2016-12-16 閱讀(614)
濺射薄膜式E+E壓力傳感器可靠性研究
濺射薄膜式E+E壓力傳感器具有*的耐惡劣環(huán)境性能,已成為中高壓力測量的主力傳感器,廣泛應用于電力、機械、冶金、能源等領域的壓力測量。濺射薄膜式E+E壓力傳感器設計因素復雜,包含多種新型工藝,影響其可靠性的不確定因素眾多。
濺射薄膜式E+E壓力傳感器可靠性研究
因此,如何通過可靠性設計、分析、試驗對其可靠性進行研究,是濺射薄膜式E+E壓力傳感器研究與應用中的關鍵問題之一。針對濺射薄膜式E+E壓力傳感器的可靠性開展研究,建立傳感器可靠性綜合評價方法,分別從彈性膜片結構、敏感芯片絕緣耐壓性能、傳感器靜電敏感性能三方面研究提高傳感器可靠性的技術途徑,為優(yōu)化傳感器的設計和工藝提供支持。主要研究內容與成果如下：運用基于層次分析的模糊綜合評價方法實現傳感器可靠性的綜合評價,并通過分析找出影響傳感器可靠性的關鍵因素—彈性膜片結構、敏感芯片絕緣耐壓性能、傳感器靜電敏感性能。對濺射薄膜式E+E壓力傳感器的敏感彈性膜片進行理論分析和設計,并應用有限元方法對膜片進行應力應變分析,對膜片設計參數進行驗證。利用正交試驗對敏感芯片絕緣膜的工藝參數進行實驗研究,通過方差分析找出影響絕緣性能的顯著因子,在此基礎上對工藝參數進行優(yōu)化,改善絕緣膜的鍍制工藝過程,提高敏感芯片的絕緣性能。針對濺射薄膜式E+E壓力傳感器的超差故障實例,利用故障樹分析和故障復現試驗確定故障原因,分析傳感器的靜電作用機理,并分別提出設計、制造、使用過程的靜電防護措施。綜上所述,針對濺射薄膜式E+E壓力傳感器的可靠性問題,系統(tǒng)研究傳感器可靠性綜合評價及優(yōu)化方法,對于我國濺射薄膜式E+E壓力傳感器的研究與應用具有重要的理論與工程意義。
