勻膠機(jī)與旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)的關(guān)系

你知道勻膠機(jī)與旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)的關(guān)系么

　　旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們?cè)矶际且粯拥?，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

　　從其原理來說，勻膠機(jī)有以下兩個(gè)特點(diǎn)。

　　(1)旋轉(zhuǎn)速度

　　轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，如美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。

　　(2)真空吸附系統(tǒng)

　　真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會(huì)讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不夠時(shí)不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。