ES612 ESD 測試儀 (HBM, HMM, MM)
ES612 ESD測試儀是一款2管腳測試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級ESD測試而設(shè)計。該測試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測試儀上的DC特性測試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測試儀可搭配多管腳自動化測試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。
ES612 ESD測試儀的脈沖源設(shè)計和注入方法能夠確保被測器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動抓取脈沖注入時的波形，為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。
特點
低寄生參數(shù)，高質(zhì)量脈沖
可定制，可擴(kuò)展
可搭配探針臺進(jìn)行晶圓級測試
外置可選配的自動故障檢測模塊
觸摸控制面板
可固件升級
可選配的自動化脈沖注入和故障測量軟件
可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
ES612 ESD測試儀是一款2管腳測試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級ESD測試而設(shè)計。該測試儀的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測試儀上的DC特性測試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測試儀可搭配多管腳自動化測試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。
ES612 ESD測試儀的脈沖源設(shè)計和注入方法能夠確保被測器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動抓取脈沖注入時的波形，為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。
低寄生參數(shù)，具有高質(zhì)量脈沖
可定制，可擴(kuò)展
可搭配探針臺進(jìn)行晶圓級測試
外置可選配的自動故障檢測模塊
觸摸控制面板
可固件升級
可選配的自動化脈沖注入和故障測量軟件
可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級器件的通用ESD測試
HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2009
MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2012
ES612 控制主機(jī)
| 參數(shù) | ES612-2K | ES612-8K | ES612-12K | ES612-20K | 單位 |
| 輸出電壓 | ± 10 ~ 2000 | ± 10 ~ 8000 | ± 10 ~ 12000 | ± 10 ~ 20000 | V |
| 小輸出電壓步長 | 1V (500V以內(nèi))
10V (2 kV以內(nèi)) | 1V (500V以內(nèi))
10V (8 kV以內(nèi)) | 1V (500V以內(nèi))
10V (12 kV以內(nèi)) | 1V (500V以內(nèi))
10V (20 kV以內(nèi)) | V,
kV |
| 輸出電壓精度 | ± 1 % 或 ± 5 V | % |
| 尺寸 | 347 X 300 X 145 | mm |
| 重量 | 5 | 6 | 6 | 7 | kg |
| 電壓、電流測量 | 電壓、電流測量無源探頭 |
| 支持的示波器 | Keysight， Tektronix，Lecory主流型號示波器 |
| 支持的SMU | Keithley 24xx/26xx 系列 |
外置人體模型（HBM ）波形發(fā)生模塊
| 參數(shù) | HBM-2K | HBM -8K | HBM -12K | HBM -20K | 單位 |
| 輸出電壓 | ± 10 ~ 2000 | ± 10 ~ 8000 | ± 10 ~ 12000 | ± 10 ~ 20000 | V |
| 放電RC值 | C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1% |
|
| 短路峰值電流Ips | 0.67A ± 10 % per kV | ns |
| 短負(fù)荷上升時間Trs | 2 < Trs < 10 | ns |
| 短負(fù)荷衰減時間Tds | 1300 < Tds < 1700 | ns |
| 短負(fù)荷振鈴Irs | < 15% of Ips |
|
| 500Ω負(fù)載峰值電流Ipr | Ipr/Ips ≥ 63% |
|
| 500Ω負(fù)載上升時間Trr | 5 < Trr < 25 | ns |
外置人體-金屬模型（HMM ）波形發(fā)生模塊
(根據(jù)ANSI/ESD SP5.6-2009)
| 參數(shù) | HMM-24K | 單位 | 備注 |
| HMM峰值電流 | 90 | A | 3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 %
IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF) |
| HMM電流@ 30 ns | 48 | A | ≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30% ) |
| HMM電流@ 60 ns | 24 | A | ≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30% )
|
| 編號 | 型號 | 描述 |
| ES612 ESD測試儀 |
| 1.1 | ES612 | ES612 ESD 測試儀控制主機(jī), 大輸出電壓 8 kV / 20 kV,
RS232 SCPI 通訊端口 |
| 1.2 | ES612-HBM | 人體模型波形發(fā)生模塊（2管腳） |
| 1.3 | ES612-HMM | 人體-金屬模型波形發(fā)生模塊（2管腳） |
| 1.4 | ES612-MM | 機(jī)器模型波形發(fā)生模塊（2管腳） |
| 其他配件選項 |
| 2.1 | ES62x-PC-HBM | 電腦（預(yù)裝脈沖及失效等級自動檢測軟件） |
| 2.2 | KSMU2400 | 數(shù)字源表, 200V, 1A, 20W, 單通道(用于被測器件DC損傷檢測） |
| 2.3 | ES62X-CMPS | 簡易手動探針臺 |
| 2.4 | ES62X-XYZM-TIM | XYZ 微動探針座 – XYZ 行程500 mils，步進(jìn)0.01mm |
| 2.5 | ES62X-XYZM-PAA | PCB 探針臂套件，配備電壓測量探頭 |
| 2.6 | ES62X-XYZM-GAA | 接地探針臂套件 |
| 2.7 | HBM-TC0.3 | 0.3 mm Pitch Test Clip |
| 2.8 | HBM-TC2.5 | 2.54 mm Pitch Test Clip |
| 2.9 | ES62X-XYZM-PP048 | 048 型號彈簧探針 |
| 2.10 | ES62X-XYZM-PP075 | 075 型號彈簧探針 |
| 2.11 | ES62X-XYZM-TN1 | 鎢鋼針 |
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