氣體質量流量控制器的自我診斷技術

　　自我診斷技術是在不停機或基本不拆機的情況下，通過各種檢測分析來判斷設備狀態(tài)是否正常，異?；蚬收系脑?、部位、程度以及壽命的預測。

　　自我診斷技術的主要作用是獲得設備的結果狀態(tài)信息，即根據(jù)設備在各種工況下，表現(xiàn)出來的精度超差，零點漂移，內漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來識別產(chǎn)品的狀態(tài)、異常類型和異常的嚴重程度，其本質是一個包含信號采集、信息提取、信息綜合、故障識別和信息利用的過程。自我診斷的目標是確保產(chǎn)品在功能、精度、效率和可靠性方面均能穩(wěn)定運行。

圖1 自我診斷的目標

2. 自我診斷技術在氣體質量流量控制器中的應用

　　半導體設備對氣體質量流量控制器的要求重要的一點就是高精度，傳統(tǒng)的氣體質量流量控制器在使用一段時間后，由于環(huán)境溫度、氣體污染等原因，有可能出現(xiàn)精度超差的現(xiàn)象，但由于檢測條件的限制，用戶無法對氣體質量流量控制器的精度進行檢驗。因此需要研究一種自我診斷技術，通過該技術，用戶可以隨時對氣體質量流量控制器的精度進行檢驗。

　　增加氣體質量流量控制器的自我診斷功能，需要通過初級流量測量原理獲得流量。若Qm為氣體的質量流量，可以根據(jù)壓力、溫度與氣體流量變化方程建立壓力隨時間的變化曲線,如圖2所示：

圖2 壓力隨時間的變化曲線

　　通過該圖可以建立氣體質量流量控制器的精度對應表，進行自我診斷過程中，與該表格信息進行對比，可通過兩條曲線的相似度判定，系統(tǒng)的精度是否在要求范圍內。自我診斷技術大大提高了氣體質量流量控制系統(tǒng)的可靠性，完善了系統(tǒng)功能。

3 自我診斷技術優(yōu)勢

　　采用自我診斷技術的智能分析，質量流量控制器能夠做出智能化的檢測，對該設備可能出現(xiàn)的故障進行預測，在預測的基礎之上，自動予以消除或者做出報警反映，這一過程對于產(chǎn)品本身使用中的維護而言，能夠取得更好的經(jīng)濟效益，不但工作人員的工作量可以得到有效的降低，自診結果也能夠得到很全面地提供，維護人員還可以對應的進行更加完善、有效的維護方案制定，維修保養(yǎng)地開展和實施就會更加的理想。