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深圳無塵烤箱

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更新時間:2023-01-31 09:09:30瀏覽次數(shù):1076

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產(chǎn)品簡介

深圳無塵烤箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

詳細介紹

   簡單介紹

  

  深圳無塵烤箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。Class100CleanOvens

  

  深圳無塵烤箱的詳細介紹

  

  系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

  

  一.用途:

  

  PVC無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

  

  二.特點:

  

  1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class100

  

  2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;

  

  3.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.AFilter20"×20"裝置往前門(特殊風道設(shè)計)方向送風,過濾效率99.99%,Class100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)

  

  4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度。

  

  三.產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):

  

  1.主要技術(shù)指標:

  

  無塵等級:Class100;溫度范圍:60~+300℃;

  

  溫度均勻度:200℃±4℃;溫度波動度:±0.5℃(空載)

  

  溫控精度:±0.1℃;工作尺寸:W800×D600×H1300

  

  電源:380v,50Hz,15KW網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

  

  潔凈度100級的潔凈熱處理

  

  HEPA過濾器與前出風型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。

  

  M計裝可編程控制

  

  1模式20步驟,zui多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。

  

  簡單操作的標準計裝

  

  標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設(shè)定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。

 

型號  溫度范圍 內(nèi)容積 其它參數(shù) 內(nèi)尺寸
(W×H×Dmm)
外尺寸
(W×H×Dmm)
PVC-178 (RT+60)~+200℃ 178L 潔凈度:100級 580×530×580 770×1,280×1,025
PVC-380 (RT+60)~+200℃ 380L 潔凈度:100級 580×1130×580 770×1,880×1,025
PVC-678 (RT+60)~+200℃ 678L 潔凈度:100級 800×1130×750 1,030×1,880×1,025
PVHC-178 (RT+60)~+300℃ 178L 潔凈度:100級 580×530×580 770×1,280×1,025
PVHC-380 (RT+60)~+300℃ 380L 潔凈度:100級 580×1,130×580 770×1,880×1,025
PVHC-678 (RT+60)~+300℃ 678L 潔凈度:100級 800×1,130×750 1030×1,880×1,210
PVHC-347MS (RT+60)~+300℃ 347L 潔凈度:100級 580×1,130×530 770×1,880×1,025
PVHC-633MS (RT+60~+300℃ 633L 潔凈度:100級 800×1,130×700 1,030×1,880×1,210

 

   2、箱體結(jié)構(gòu):

  

  烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;

  

  箱體材料:外箱采用SUS304,1.5mm之拉絲不銹鋼,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,可防止微塵;

  

  內(nèi)膽材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE;

  

  中桶材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

  

  3、溫控系統(tǒng):

  

  采用韓國“三元”SAMWONTECH溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定,精確度±0.3%FS。;

  

  訊號來源:采用PT100熱電阻±0.5%。

  

  輸出被控制組件:SSR無接點訊號輸出。

  

  4、完善的安全保護措施:

  

  漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、超溫防止保護裝置、電熱過電流保護裝置、

  

  馬達過電流保護、機臺異常蜂鳴器警示逆向防止器、門面安全開關(guān)

  

  5、選購設(shè)備(需另外收費):

  

  可程式溫控器無紙記錄儀三色指示燈烘烤架

  

  注:無塵等級和尺寸可根據(jù)要求定制。

  

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