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當(dāng)前位置：上海富瞻環(huán)保科技有限公司>>半導(dǎo)體行業(yè)儀器>> MDPlinescan在線少子壽命測試儀
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌Freiberg Instruments
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
更新時間：2024-11-02 13:22:01瀏覽次數(shù)：130次
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靈活的OEM少子壽命測試儀器，用于各種不同樣品的少子壽命測量，從單晶硅磚到多晶硅磚，從生長的硅片到不同層或金屬化的硅片的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)的軟件接口，便于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。
產(chǎn)品介紹：
在眾多的少子壽命測量方法中，MDP（微波檢測光電導(dǎo)率）采用改進(jìn)的少子壽命檢測技術(shù)，是微波檢測光電導(dǎo)衰減法檢測儀中常用的儀器之一，少子壽命測試儀原理從載流子輸運(yùn)原理出發(fā)，建立廣義速率方程和偏微分方程系統(tǒng)。擁有優(yōu)良的靈敏度和分辨率，很大程度提升在線檢測的速度和質(zhì)量，快速出具少子壽命測試的實驗報告。
MDPlinescan被設(shè)計成一個易于集成的OEM設(shè)備，可以集成到各種自動化檢測線。關(guān)鍵的是在傳送過程中進(jìn)行少子壽命掃描。樣品通常由測量頭下面的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)攜帶。應(yīng)用實例包括從晶磚到晶圓檢測，單晶少子壽命測試、多晶少子壽命測試，每塊晶圓的測量速度小于一秒。電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是經(jīng)典的通用案例，也用于鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查，還有許多其他特殊的應(yīng)用的可能性。易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。
MDPlinescan W
包括一個額外的電阻率測量選項。
優(yōu)點：
◇ 在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激勵條件下線掃描少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個小型設(shè)備的重要功能；
◇ OEM設(shè)備可以集成到多晶或單晶硅片的生產(chǎn)線上，在不同的制備階段，直至器件、磚塊或晶錠。
◇ 小巧的尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動化接口使其易于集成。重 點是測量結(jié)果的長期可靠性和精確性。
示范性線狀掃描圖
細(xì)節(jié)：
◇ 允許單晶圓片調(diào)查
◇ 不同的晶圓級有不同的配方
◇ 監(jiān)控物料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性
技術(shù)規(guī)格:
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