MX51工業(yè)檢測(cè)半導(dǎo)體顯微鏡 詳細(xì)介紹：

考慮了檢查效率的設(shè)計(jì) 高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置

內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄

MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長(zhǎng)時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器，可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來(lái)提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類(lèi)型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。

鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系 多種選擇可實(shí)現(xiàn)的成像性能

UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來(lái)的高品質(zhì)，忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無(wú)論是在目視觀(guān)察中還是在數(shù)碼影像觀(guān)察中都能發(fā)揮它的性能。

觀(guān)察影像實(shí)例

明視場(chǎng)觀(guān)察

暗視場(chǎng)觀(guān)察

微分干涉觀(guān)察

熒光觀(guān)察

豐富的產(chǎn)品陣容，可按需選擇
MPLAPON 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 MPLFLN 平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BD 明暗視場(chǎng)用平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
LMPLFLN 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
LMPLFLN-BD 明暗視場(chǎng)用長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡
MPLN 平場(chǎng)消色差透鏡
MPLN-BD 明暗視場(chǎng)用平場(chǎng)消色差透鏡
SLMPLN 超長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差透鏡
LCPLFLN-LCD 液晶長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡

MX51工業(yè)檢測(cè)半導(dǎo)體顯微鏡軟件方案
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像

幫助實(shí)現(xiàn)多種觀(guān)察方法的附件
近紅外線(xiàn)觀(guān)察單元

由可見(jiàn)光線(xiàn)領(lǐng)域到近紅外線(xiàn)領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線(xiàn)用超廣角三目鏡筒等，備有各種對(duì)應(yīng)近紅外線(xiàn)觀(guān)察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀(guān)察上發(fā)揮威力。

近紅外線(xiàn)觀(guān)察單元

近紅外線(xiàn)觀(guān)察

熒光觀(guān)察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀(guān)察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。

熒光鏡單元

熒光觀(guān)察

透射照明單元

透射照明單元

對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實(shí)現(xiàn)了透射簡(jiǎn)易偏振光觀(guān)察。有通用的A型號(hào)和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號(hào)兩種型號(hào)。