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貨物所在地:上海上海市
更新時(shí)間:2025-02-24 13:42:57
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所屬類(lèi)別:光機(jī)產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) » 壓電精密定位系統(tǒng)
氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)
可根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制
AURT系列氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用經(jīng)過(guò)特殊設(shè)計(jì)的空氣軸承,該軸承分別對(duì)剛度、承載能力和剛度進(jìn)行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤(rùn)滑劑,因此所有運(yùn)動(dòng)都是無(wú)接觸的,因此在整個(gè)使用壽命之內(nèi),設(shè)備的性能保持不變,并且無(wú)需進(jìn)行特殊維護(hù)。該旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用氣體軸承可提供平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動(dòng)、偏航和線性誤差。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)主要分為AURT-S和AURT-U兩個(gè)系。
1)AURT-S系列氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)在緊湊的體積中包含空氣軸承,電機(jī)和編碼器,可實(shí)現(xiàn)出色的角度定位和速度穩(wěn)定性,大孔徑便于滑環(huán)的集成、光學(xué)或其它需要光路直通的應(yīng)用;例如X射線和光學(xué)檢測(cè)應(yīng)用。AURT-S系列包含以下五款產(chǎn)品。
①AURT-075S和AURT-100S兩款氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是AURT-S系列中較緊湊的產(chǎn)品。這兩款空氣軸承轉(zhuǎn)臺(tái)不但擁有緊湊的體積還可以提供優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)精度和性能. 可*的用在小型設(shè)備和多軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的θ軸。該氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)輕巧緊湊的設(shè)計(jì)是高動(dòng)態(tài)和精確定位應(yīng)用中的*解決方案。
②AURT-150S是一款中檔的旋轉(zhuǎn)平臺(tái),具有出色的載重能力和低誤差的運(yùn)動(dòng)性能。低高度和大孔徑使該旋轉(zhuǎn)臺(tái)成為測(cè)量和檢測(cè)應(yīng)用中的首要選擇。
③AURT-250S和AURT-500S是兩款大剛度大載重量的氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)。AURT-250S氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)負(fù)載能力達(dá)到80kg,該平臺(tái)在軸向和徑向擁有極小的誤差,和*的平穩(wěn)度。AURT-500S是一款超大載重量的空氣軸承轉(zhuǎn)臺(tái),載重量高達(dá)8300N,并且擁有極低的運(yùn)動(dòng)誤差,集成一個(gè)高分辨率編碼器可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的定位和速度跟蹤。
2)AURT-U系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是同類(lèi)產(chǎn)品中性能很好的產(chǎn)品。具有超低的運(yùn)動(dòng)誤差(低于20nm)。追求*的設(shè)計(jì)融合了的性能。該系列的代表產(chǎn)品是AURT-150U,是款超精密氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
此外提供高精度的復(fù)雜運(yùn)動(dòng)和定位方案:
提供不同應(yīng)用中需要的定位平臺(tái)、控制器和相關(guān)軟件
Ø整體解決方案
Ø定制化解決方案
Ø復(fù)雜的多軸與并聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
Ø超精密空氣與機(jī)械軸承
Ø軟件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……
產(chǎn)品特點(diǎn):
主要應(yīng)用
l 圓度測(cè)量系統(tǒng)
l 微米或納米斷層掃描成像
l 精密制造
l 同步輻射或X射線
l 半導(dǎo)體行業(yè)
產(chǎn)品參數(shù):
Air Bearing | |||||||
Units | AURT075S | AURT100S | AURT150S | AURT250S | AURT500S | AURT150U | |
max. axial load | N | 137 | 206 | 434 | 804 | 8300 | 726 |
max. radial load | N | 51 | 78 | 226 | 452 | 2570 | 264 |
axial stiffness | N/μm | 68 | 103 | 217 | 402 | 1660 | 242 |
radial stiffness | N/μm | 25 | 39 | 113 | 226 | 514 | 88 |
tilt stiffness | Nm/mrad | 33 | 90 | 455 | 2380 | 37.4 | 204 |
rad. err. motion | nm LSC | <100 | <100 | <100 | <100 | <100 | <20 |
axial err. motion | nm LSC | <50 | <50 | <50 | <50 | <50 | <20 |
air consumption | NL/min | <4 | <8 | <10 | <15 | <100 | <20 |
angular accuracy | arcsec | ±13.8 | ±10.3 | ±6.9 | ±4.0 | ±2.9 | ±6.9 |
Motor & Encoder | |||||||
nominal torque | Nm | 0.04 | 0.13 | 0.45 | 1.5 | 3.0 | 0.5 |
peak torque | Nm | 0.13 | 0.40 | 1.35 | 4.5 | 9.0 | 1.5 |
max. speed | rpm | 300 | 200-1200 | 200-800 | 120 | 60 | 200 |
encoder | periods | 11840 | 15744 | 23600 | 40000 | 47200 | 23600 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)