傳感器heihenhain品牌LIDA 系列

傳感器heihenhain品牌LIDA 系列
LIDA敞開(kāi)式直線光柵尺特別適合運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用，支持多種安裝方式，安裝特別簡(jiǎn)單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開(kāi)關(guān)。
敞開(kāi)式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對(duì)測(cè)量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。
典型應(yīng)用包括：
半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超高精度機(jī)床

傳感器heihenhain品牌LIDA 系列
LIDA敞開(kāi)式直線光柵尺特別適合運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用，支持多種安裝方式，安裝特別簡(jiǎn)單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開(kāi)關(guān)。
敞開(kāi)式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對(duì)測(cè)量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。
典型應(yīng)用包括：
半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超高精度機(jī)床

直線光柵尺測(cè)量直線軸位置，沒(méi)有任何其
它機(jī)械傳動(dòng)件。有效避免多個(gè)潛在誤差源
的影響：
• 滾珠絲杠發(fā)熱導(dǎo)致的定位誤差
• 反向誤差
• 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差
因此，直線光柵尺是需要高定位精度和高
速加工的機(jī)床*的基礎(chǔ)性技術(shù)。
敞開(kāi)式直線光柵尺廣泛用于需要*測(cè)量

傳感器heihenhain品牌LIDA 系列
精度的機(jī)器設(shè)備。典型應(yīng)用包括：
• 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
• PCB電路板組裝機(jī)
• 超精密機(jī)床和設(shè)備，例如加工光學(xué)器件
的金剛石刀具，加工磁盤的端面車床和
加工鐵氧體元件的磨床
• 高精度機(jī)床
• 測(cè)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡和其它
精密測(cè)量設(shè)備
• 直驅(qū)電機(jī)
機(jī)械結(jié)構(gòu)
敞開(kāi)式直線光柵尺包括光柵尺或鋼尺帶和
讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接觸。
敞開(kāi)式直線光柵尺的尺帶固定在安裝面
上。因此，為確保直線光柵尺的高精度，
必須確保安裝面平面度達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)

超高精度 LIP敞開(kāi)式直線光柵尺的突出特點(diǎn)是極小 測(cè)量步距、高精度和高重復(fù)精度。掃描方 式為干涉掃描，測(cè)量基準(zhǔn)為OPTODUR相 位光柵。 高精度 LIF敞開(kāi)式直線光柵尺采用干涉掃描原 理，測(cè)量基準(zhǔn)為SUPRADUR光柵。其特點(diǎn) 是高精度和高重復(fù)精度，特別易于安裝， 并帶限位開(kāi)關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF 481 V可用于真空度達(dá)10–7毫巴的高真空度 應(yīng)用（參見(jiàn)其單獨(dú)的“產(chǎn)品信息”資料）。 高運(yùn)動(dòng)速度 LIDA敞開(kāi)式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于高速運(yùn) 動(dòng)，1313高速度達(dá)10 m/s。多種安裝方式使 其特別易于靈活地部署。多種版本可供選 擇，例如鋼尺帶、玻璃或玻璃陶瓷基體的 METALLUR光柵。也可帶限位開(kāi)關(guān)。 二維光柵尺 PP二維光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)為干涉掃描的、 由DIADUR工藝制造的平面二維光柵。因 此可測(cè)量平面中的位置。 用在真空環(huán)境中的光柵尺 海德漢的標(biāo)準(zhǔn)光柵尺適用于一般或中等真 空應(yīng)用。如果用于高真空和超高真空環(huán)境 中，光柵尺必須滿足特殊要求。在選擇光 柵尺的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材質(zhì)中，必須特別滿足 這些條件的要求。更多信息，請(qǐng)參見(jiàn)真空 應(yīng)用的直線光柵尺“技術(shù)信息”資料。 以下敞開(kāi)式直線光柵尺于高真空度或 超高真空度的應(yīng)用： • 高真空度：LIP 481V和LIF 481V • 超高真空度：LIP 481U 更多信息，請(qǐng)參見(jiàn)相應(yīng)的“產(chǎn)品信息