SFT-110 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀

SFT-110 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀

日立高科(前身:日本精工)推出配備自動(dòng)定位功能的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110，使操作性進(jìn)一步提高。

 對(duì)半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測(cè)量管理，可保證產(chǎn)品的功能及品質(zhì)，降低成本。精工從1971年*推出非接觸、短時(shí)間內(nèi)可進(jìn)行高精度測(cè)量的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x以來(lái)，已經(jīng)累計(jì)銷售6000多臺(tái)，得到了國(guó)內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測(cè)量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。

SFT-110 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀

為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測(cè)量需求，精工開(kāi)發(fā)了配備有自動(dòng)定位功能的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110。通過(guò)自動(dòng)定位功能，僅需把樣品放置到樣品臺(tái)上，就可在數(shù)秒內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦。由此，無(wú)需進(jìn)行以往的手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作，大大提高了樣品測(cè)量的操作性。

 近年來(lái)，隨著檢測(cè)零件的微小化，對(duì)微區(qū)的高精度測(cè)量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下，也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。并且，配備有新開(kāi)發(fā)的薄膜FP法軟件，即使沒(méi)有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測(cè)量，可對(duì)應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

即放即測(cè)！ 
通過(guò)自動(dòng)定位功能，放置樣品后僅需幾秒，便能自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)。 
　 
10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測(cè)量！ 
以的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度地提高膜厚測(cè)量的精度。

無(wú)標(biāo)樣測(cè)量！ 
將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴(kuò)充，即使沒(méi)有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高精度的測(cè)量。也可簡(jiǎn)單地測(cè)量多鍍層膜和合金膜樣品。

通過(guò)廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測(cè)量位置！ 
通過(guò)廣域觀察系統(tǒng)，能夠從畫(huà)面上的樣品整體圖（大250×200mm）中方便地測(cè)量位置

基本參數(shù)：
測(cè)量元素:  原子序號(hào)22（Ti）～83（Bi） 
X射線源:   空冷式小型X射線管 
檢測(cè)器:     比例計(jì)數(shù)管 
準(zhǔn)直器:     ○型： 0.1mmφ、0.2mmφ　2種 
樣品觀察:   CCD攝像頭（可進(jìn)行廣域觀察） 
對(duì)焦:        激光點(diǎn)（自動(dòng)） 
濾波器：   一次濾波器： 自動(dòng)切換 
樣品臺(tái)（臺(tái)式尺寸）:  500(W) x400(D) x 150（H）mm 
（移動(dòng)量）:  X:250mm, Y:200mm 
操作部:       電腦、19寸液晶 
測(cè)量軟件:   薄膜FP法 （多5層膜、10種元素）、標(biāo)準(zhǔn)曲線法 
數(shù)據(jù)處理:   配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word 
安全機(jī)構(gòu):   樣品門連鎖、樣品的防沖撞功能、儀器診斷功能