目錄:聯(lián)合光科技（北京）有限公司>>光學(xué)平臺(tái)和隔震系統(tǒng)>>主動(dòng)減振器>> 模塊式主動(dòng)減振器
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更新時(shí)間：2025-02-20 16:57:17瀏覽次數(shù)：16評(píng)價(jià)
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模塊式主動(dòng)減振器塊式設(shè)計(jì)，能適用于更多需要安裝配置的場(chǎng)合，外置控制箱。支撐分為彈簧型和氣浮型，彈簧型主動(dòng)減振適用于顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等靜態(tài)設(shè)備。氣浮型主動(dòng)減振采用地面振動(dòng)前饋與反饋控制相結(jié)合，提供出色的隔振效果;運(yùn)動(dòng)前饋與速度反饋控制結(jié)合，有效消減平臺(tái)運(yùn)動(dòng)加速度，快速穩(wěn)定平臺(tái)振動(dòng)。適用于光刻機(jī)等運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)備，消減大質(zhì)量滑塊運(yùn)動(dòng)帶來(lái)的振動(dòng)；半導(dǎo)體設(shè)備，及高精度、高速度加速度的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等。
模塊式主動(dòng)減振器特點(diǎn)：
*安裝方便，接入電源即可使用
*調(diào)節(jié)水平功能，操作簡(jiǎn)便
*模塊化的主動(dòng)減振器，可根據(jù)設(shè)備重量和尺寸，制作成各種平臺(tái)
*6自由度振動(dòng)信號(hào)實(shí)時(shí)檢測(cè)，執(zhí)行器提供推力，主動(dòng)衰減振幅
*實(shí)時(shí)監(jiān)控臺(tái)面振動(dòng)
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