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詳細(xì)介紹
日本進(jìn)口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15
OTD-25
OTD-35
特點
粒子生成預(yù)防
電機驅(qū)動可防止顆粒生成。
*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)
我們*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)可抑制晶圓輸送過程中的晃動，確保轉(zhuǎn)移到石英船，并準(zhǔn)確、安全地運輸重物，如化合物晶圓
特點
粒子生成預(yù)防
電機驅(qū)動可防止顆粒生成。
*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)
我們*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)可抑制晶圓輸送過程中的晃動，確保轉(zhuǎn)移到石英船，并準(zhǔn)確、安全地運輸重物，如化合物晶圓
| 類型表達(dá)式 | OTS-15  （獨立） | OTD-25  （桌面類型） | OTD-35  （桌面類型） |
|---|---|---|---|
| 步進(jìn)數(shù) | I. 舞臺 （盒式×1） | II 階段 （盒式× 1， 船× 1） | III 階段 （盒式× 2， 船× 1） |
| 驅(qū)動系統(tǒng) | 電機驅(qū)動（伺服） | ||
| 轉(zhuǎn)移格式 | 1ca 異種盒間移載 | 1ca to 1bt 雙向移載 | 2ca to 1bt 雙向移載 |
| 轉(zhuǎn)移 斯皮德 | Min40秒 + 盒式交換時間 | Min50 秒（可調(diào)節(jié)） | Min90 秒（可調(diào)節(jié)） |
| 設(shè)備尺寸 | W400×D510×H1187(㎜) | W433×D490×H625(㎜) | W629×D490×H625(㎜) |
| 安全機制 | 盒有無、晶片有無、過載檢測、異常警報、緊急停止 | ||
| 電源 | AC200V（50/60Hz） | ||
日本進(jìn)口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15
半導(dǎo)體和零件制造設(shè)備
旋轉(zhuǎn)干燥機它是一種通過旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力和吸入氣流的作用來
干燥晶圓上的水滴和水分的裝置。
晶圓移載機將晶圓從載體或載體雙向傳輸?shù)?br _istranslated="1" style="box-sizing: border-box;"/>船的設(shè)備。
托架清洗機晶圓載體和載體盒的
清潔和干燥設(shè)備。
晶圓安裝器具有層壓機和安裝器兩種
功能的膠帶貼片裝置。
BG 膠帶層壓機用于粘貼用于表面保護(hù)的背磨
膠帶的自動設(shè)備。
磁帶刪除器使用剝離膠帶剝離保護(hù)膜（如晶圓或貼在基板上的 BG 膠帶）的設(shè)備。
紫外線照射機UV 固化膠帶/薄膜的紫外線照射和
固化設(shè)備。
晶圓擴展器它是一種晶圓擴展裝置，只需輕輕一觸，即可嵌入夾持環(huán)并
切割膠帶。
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