煙氣煙塵連續(xù)檢測儀器

以硅材料為主體的半導(dǎo)體工業(yè)中，涉及到種類繁多的氣體，實現(xiàn)氣相淀積、離子注入、等離子刻蝕、鈍化保護(hù)等工藝過程。

由于半導(dǎo)體工業(yè)中的危害性氣體種類繁多，每個半導(dǎo)體行業(yè)的工廠都會需要大量的氣體報警儀，目前該領(lǐng)域中應(yīng)用的氣敏元件絕大多數(shù)是電化學(xué)氣體傳感器。近年來，國內(nèi)一些研究所、高校也開始陸續(xù)開始建立中小規(guī)模的半導(dǎo)體加工線，加上電化學(xué)傳感器一般的使用壽命在1年左右，使得這類氣體傳感器的年需求量呈迅猛上升趨勢，每年都有15%左右的增長。在半導(dǎo)體工業(yè)中所使用的傳感器數(shù)量隨著半導(dǎo)體工業(yè)的波動周期而波動。國內(nèi)尚無一廠家提供專門針對半導(dǎo)體領(lǐng)域的安全儀表，國外的廠家有霍尼韋爾和日本的理研。

半導(dǎo)體工業(yè)中的安全隱患主要是有毒氣體和腐蝕性氣體。其中，毒性較強(qiáng)的氣體包括鍺烷(GeH4)、磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)、氫化銻(SbH3)、三氟化磷(PH3)等，毒性較弱但具有刺激性的氣體包括氨氣(NH3)、硅烷(SiH4)、(BF3)、(SF4)等，具有強(qiáng)腐蝕性的氣體包括SiF4、HF等。其中，用于硅及其化合物氣相淀積用的硅烷在室溫下濃度超過1%時在空氣中會發(fā)生自燃，容易引起火災(zāi)；而用于外延、摻雜等工藝的磷烷、砷烷，則具有強(qiáng)烈的血溶性毒性，是和硅烷一起作為半導(dǎo)體工業(yè)中的檢測氣體；在III-V族材料刻蝕中常常用到氯基的氣體，容易引起眼及上呼吸道刺激癥狀，一般報警點在8ppm左右；還有一些氣體，例如SF6，主要用于硅及其化合物的刻蝕，雖然純品無毒，但在高溫電弧作用下會分解成一系列有毒的氣體，包括SF4、S2F2、HF等，因此這些含硫或含氟的有毒氣體也是半導(dǎo)體工業(yè)中重點監(jiān)控的對象。

煙氣煙塵連續(xù)檢測儀器