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光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。進(jìn)口heidenhain光柵尺LC182-440ID368563-03
由大量等寬等間距的平行狹縫構(gòu)成的光學(xué)器件稱為光柵(grating)。一般常用的光柵是在玻璃片上刻出大量平行刻痕制成,刻痕為不透光部分,兩刻痕之間的光滑部分可以透...
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