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寶帝邀您共赴Semicon盛會(huì)，解鎖半導(dǎo)體應(yīng)用流體控制新方案
閱讀：181 發(fā)布時(shí)間：2025-3-19
SEMICON China 2025也已進(jìn)入開(kāi)幕倒計(jì)時(shí)狀態(tài)！作為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的年度盛事，今年的SEMICON China又將帶來(lái)哪些驚喜呢？今天，寶帝與您一起探索SEMICON China 2025的參觀攻略，為你揭開(kāi)這場(chǎng)科技盛宴的神秘面紗！
展會(huì)將于2025年3月26至28日，在上海新國(guó)際博覽中心舉辦，展會(huì)將涵蓋半導(dǎo)體制造、封裝測(cè)試、設(shè)備材料等多個(gè)領(lǐng)域，寶帝誠(chéng)邀您前來(lái)交流，一同探索半導(dǎo)體應(yīng)用中的流體控制技術(shù)！
用于刻蝕鍍膜冷卻工藝解決方案
Bürkert 參與的刻蝕鍍膜冷卻環(huán)節(jié)：反應(yīng)腔室、E-CHUCK、分子泵/真空泵、射頻電源等。
ESC Cooling
ESC 是刻蝕機(jī)中的核心部件，其冷卻系統(tǒng)至關(guān)重要，Bürkert 針對(duì)該工藝提供解決方案：
通過(guò) 2 組Burkert氣動(dòng)閥的高頻開(kāi)關(guān)控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環(huán)，以實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)的調(diào)溫目的。
通過(guò)2組Burkert電動(dòng)閥的控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環(huán)，以實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)的無(wú)極調(diào)溫目的。
PCW Cooling
Bürkert 解決方案可用于控制 2-3 路 DI water，各支路數(shù)據(jù)通過(guò)工業(yè)以太網(wǎng)網(wǎng)關(guān)采集和交換，實(shí)現(xiàn)控制、監(jiān)控和診斷，以實(shí)現(xiàn)冷卻水的閉環(huán)控制。
測(cè)試分選機(jī)高效冷卻解決方案
測(cè)試分選機(jī)在高負(fù)荷運(yùn)行時(shí)，發(fā)熱問(wèn)題嚴(yán)重影響設(shè)備穩(wěn)定性和使用壽命。Bürkert 冷卻系統(tǒng)解決方案通過(guò)工業(yè)以太網(wǎng)通訊，實(shí)現(xiàn)采集和交換、控制、監(jiān)控和診斷，提升設(shè)備整體性能和效率，確保測(cè)試分選機(jī)穩(wěn)定運(yùn)行。
如果您從事半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)，關(guān)注刻蝕鍍膜冷卻工藝和測(cè)試分選機(jī)的高效冷卻等半導(dǎo)體相關(guān)應(yīng)用，一定不要錯(cuò)過(guò)寶帝在 Semicon 展會(huì)的精彩呈現(xiàn)！
3月26 - 28日，上海新國(guó)際博覽中心，寶帝與您不見(jiàn)不散E6-6670，攜手探索半導(dǎo)體領(lǐng)域工藝流程。
屆時(shí)寶帝攜手Bürkert系統(tǒng)解決方案及更多Bürkert展品亮相Semi展會(huì)敬請(qǐng)期待！