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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
更新時(shí)間:2025-04-02 10:18:30瀏覽次數(shù):51次
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設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過(guò)蒸發(fā)段氣化,隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進(jìn)一步分布或混合,為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。
例
PLC控制系統(tǒng),Ethernet通訊,與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。
含錫前驅(qū)體 | ≤60 | sccm |
含氟前驅(qū)體 | ≤20 | sccm |
H2O | ≤60 | sccm |
功率 | 7.5 | kW |
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