1      總體參數(shù)

2      工作原理

圖1 微量水分發(fā)生器工藝流程圖

（1）    濕路載氣經(jīng)減壓閥2-1#調(diào)節(jié)到5bar AG，在飽和器中加濕，得到約2000ppm的飽和含濕氣體；飽和含濕氣體經(jīng)過減壓閥2-2#調(diào)節(jié)到2bar AG左右，再經(jīng)質(zhì)量流量控制器2#調(diào)節(jié)流量。

（2）    干路載氣經(jīng)減壓閥1-1#調(diào)節(jié)到2bar AG左右，再經(jīng)質(zhì)量流量控制器1#調(diào)節(jié)流量。

（3）    干路和濕路氣體流量比例控制在19：1，再經(jīng)過混合器后得到濕度約100ppm的目標含濕氣體輸出。

（4）    飽和器通過冷水機控溫，使其溫度在10℃

3   設(shè)備接口  

桌面式機箱，

載氣入口：1/8’’ 卡套

氣體出口：1/8’’ 卡套