RAMANdrive拉曼顯微鏡

載物臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)可提升 RAMANdrive 軟件的運(yùn)行效率，工作流程更高效、更省事。直接導(dǎo)入檢測(cè)設(shè)備數(shù)據(jù)后，RAMANdrive 會(huì)自動(dòng)將晶圓精準(zhǔn)引導(dǎo)至指定位置進(jìn)行詳細(xì)分析。載物臺(tái)以高精度移動(dòng)晶圓，確保安全、可靠地檢測(cè)所有關(guān)注區(qū)域。該功能同樣適用于其他類型的樣品。

300 毫米晶圓載物臺(tái)核心特性：

• 兼容大尺寸晶圓：支持最大 300 mm晶圓，通過(guò)連接至細(xì)小通道的真空管線穩(wěn)穩(wěn)固定。

• 整片晶圓全覆蓋：激光可覆蓋整個(gè)晶圓表面。

• 適配厚樣品：載物臺(tái)深槽設(shè)計(jì)滿足較厚樣品的分析需求。

載物臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)是 RAMANdrive 軟件的核心部分，節(jié)省時(shí)間提升效率。該載物臺(tái)可放置最大 300 毫米的大尺寸晶圓。分析時(shí)，只需從常規(guī)檢測(cè)設(shè)備上傳數(shù)據(jù)，RAMANdrive 便會(huì)識(shí)別關(guān)注區(qū)域，并自動(dòng)將晶圓移至指定位置進(jìn)行詳細(xì)分析。該技術(shù)也可滿足其他樣品的分析需求。

Nanophoton的優(yōu)良線激光照明技術(shù)可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)快速采集，一次曝光即可得到400個(gè)光譜。該技術(shù)無(wú)需移動(dòng)樣品即可完成掃描，在幾分鐘內(nèi)收集數(shù)十萬(wàn)像素，生成目標(biāo)區(qū)域的拉曼圖像。在實(shí)現(xiàn)最高成像速度的同時(shí)，不損失任何光譜質(zhì)量和空間分辨率 —— 這對(duì)于檢測(cè)小于 100 nm的顆粒，應(yīng)力分析和多型分析至關(guān)重要。

在大面積、低空間分辨率拉曼成像應(yīng)用（如晶圓分析）中，所用激光光斑尺寸通常遠(yuǎn)小于測(cè)量點(diǎn)之間的步長(zhǎng)。因此，傳統(tǒng)的逐點(diǎn)掃描成像方法存在不足 —— 無(wú)法全面、有代表性地反映分析區(qū)域的概況。為克服這一局限，AreaFlash 技術(shù)通過(guò)擴(kuò)大激光光斑，確保激發(fā)光有效覆蓋整個(gè)測(cè)量區(qū)域，從而獲得完整且具代表性的拉曼圖像。

一個(gè)典型案例是碳化硅多型體分布分析。在此應(yīng)用中，AreaFlash 預(yù)覽功能可快速識(shí)別晶體結(jié)構(gòu)的差異。在初始評(píng)估階段采用較低空間分辨率，顯著節(jié)省時(shí)間與人力成本。生成的概覽圖像可以為后續(xù)更精細(xì)的研究提供依據(jù)。總而言之，這種方法在初步快速評(píng)估與全面深入分析之間實(shí)現(xiàn)了高效平衡。

自動(dòng)校準(zhǔn)可在測(cè)量前或測(cè)量間隙進(jìn)行。RAMANdrive拉曼顯微鏡具備內(nèi)置參考功能，通過(guò)軟件控制將石英樣品插入光路。當(dāng)該樣品處于光路中時(shí)，464 cm?1 處的石英參考峰將出現(xiàn)在所有測(cè)量結(jié)果中。通過(guò)計(jì)算該石英峰與目標(biāo)峰（例如 520 cm?1 處的硅峰）之間的差值，可實(shí)時(shí)消除所有系統(tǒng)誤差 —— 包括約 0.1 cm?1 的典型校準(zhǔn)偏差。