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丹麥 SENS4 A/S ATM寬量程真空傳感器

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產(chǎn)品型號(hào)VPM-7

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

更新時(shí)間:2024-12-13 11:00:24瀏覽次數(shù):376次

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丹麥 SENS4 A/S ATM寬量程真空傳感器
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丹麥 SENS4 A/S ATM寬量程真空傳感器

VPM-7 SmartPirani™ ATM傳感器專(zhuān)為半導(dǎo)體負(fù)載鎖緊、精密壓力控制和其他真空應(yīng)用而設(shè)計(jì),在這些應(yīng)用中,相對(duì)于大氣環(huán)境壓力的精確壓力測(cè)量非常重要。

10-6 至 1333 mbar / 7.5×10-7 至 1000 Torr / 1×10-4 至 1.333×105 Pa

用于負(fù)載鎖定控制的下一代真空傳感器

  • 9 個(gè)倍程的超寬測(cè)量范圍

  • 精密大氣開(kāi)關(guān)功能

  • 用于控制的可靠固態(tài)繼電器

  • 氣壓環(huán)境壓力測(cè)量

  • 0-10 VDC 可編程電壓輸出,支持其他供應(yīng)商仿真

  • 數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口

  • StableZero™ 漂移補(bǔ)償

  • MKS 901P 的直接替代品

  • 用于診斷的真空溫度傳感器

  • RGB LED彩色壓力指示器

  • 可選耐腐蝕版本

  • 丹麥 SENS4 A/S ATM寬量程真空傳感器

  • 與傳統(tǒng)的負(fù)載鎖傳感器和其他負(fù)載鎖傳感器解決方案相比,它具有更寬的測(cè)量范圍、更高的精度和更快的測(cè)量周期,具有性能。

SmartPirani ATM基于一項(xiàng)正在申請(qǐng)技術(shù),該技術(shù)通過(guò)將皮拉尼熱損失真空計(jì)的熱導(dǎo)率測(cè)量范圍延長(zhǎng)1-3個(gè)十年,建立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

多合一多傳感器傳感器解決方案

VPM-7 是一款真正的多傳感器,具有四個(gè)壓力輸出,結(jié)合了氣壓環(huán)境傳感器、寬范圍熱損失皮拉尼傳感器、絕對(duì)隔膜傳感器和相對(duì)于大氣壓的信號(hào),以優(yōu)化現(xiàn)代負(fù)載鎖真空室的壓力控制。隔膜傳感器讀數(shù)與氣體無(wú)關(guān),絕對(duì)壓力為 2 至 1333 mbar。

負(fù)載鎖是一種真空室,用于將半導(dǎo)體晶圓等設(shè)備從環(huán)境氣壓加載到真空處理室。負(fù)載鎖通常在大氣氣壓環(huán)境壓力和將晶圓轉(zhuǎn)移到加工真空室所需的足夠真空壓力之間循環(huán)。精確控制負(fù)載鎖真空室中的壓力對(duì)于防止環(huán)境空氣和顆粒污染負(fù)載鎖和晶圓至關(guān)重要。

可編程設(shè)置和參數(shù)

用戶可以對(duì)傳感器設(shè)置和參數(shù)進(jìn)行編程,以控制真空系統(tǒng)和應(yīng)用參數(shù)。

數(shù)字串行接口支持診斷、預(yù)測(cè)性維護(hù)、維修、校準(zhǔn)、設(shè)定值配置、模擬輸出縮放和實(shí)時(shí)真空壓力測(cè)量值的采集,以便在屏幕上顯示。串行USB編程器與免費(fèi)、直觀的配置軟件相結(jié)合,是用于傳感器編程、實(shí)時(shí)測(cè)量和診斷的即插即用解決方案。

模擬電壓輸出

用戶可以通過(guò) S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口將模擬輸出配置為 0-10 VDC 范圍內(nèi)的任何任意縮放。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內(nèi)放大信號(hào)。此外,還提供多種模擬輸出縮放選項(xiàng),以模擬其他供應(yīng)商的真空計(jì)和傳感器??蛇x的輔助模擬輸出可對(duì)全范圍真空壓力和相對(duì)于大氣壓的壓力信號(hào)進(jìn)行外部監(jiān)測(cè)。

用于壓力指示的新型 RGB LED

SmartPirani™ ATM引入了一種新方法,通過(guò)多色LED直觀地確定測(cè)量的壓力,該LED在整個(gè)壓力范圍內(nèi)平滑地改變顏色。這種可選的視覺(jué)功能是集成顯示器的低成本替代方案,可提供測(cè)量壓力的粗略視覺(jué)指示。如果真空系統(tǒng)加壓超過(guò)環(huán)境壓力,它還會(huì)提供清晰的視覺(jué)警告。


可靠而穩(wěn)健的壓力控制

為了優(yōu)化負(fù)載鎖定性能,需要準(zhǔn)確可靠地控制多個(gè)壓力參數(shù)。SmartPirani™ ATM傳感器具有三個(gè)獨(dú)立的固態(tài)開(kāi)關(guān)繼電器,可配置為控制排氣、傳輸室閘閥和負(fù)載鎖門(mén)。

與傳統(tǒng)的機(jī)電繼電器相比,固態(tài)繼電器具有可靠性和更快的開(kāi)關(guān)時(shí)間,同時(shí)提供無(wú)電弧觸點(diǎn),并且在開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生EMI(電磁干擾)。SmartPirani™ ATM 控制繼電器經(jīng)久耐用,并通過(guò)了 UL 認(rèn)證、CSA 認(rèn)證和 EN/IEC 60950-1 認(rèn)證,在用于控制關(guān)鍵真空過(guò)程和高循環(huán)負(fù)載鎖定應(yīng)用時(shí)具有最大的信心。


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