質(zhì)量流量控制器 返回列表頁

G100C質(zhì)量流量控制器特點

l 高精度、高分辨率控制

l DC 9-36V寬電壓供電

l 低功率，功率＜2W

l 集成40種基礎(chǔ)氣體種類

l 可自定義10種混合氣體

l 控制參數(shù)自整定功能

l 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式

l 寬流量量程范圍

l 無需預(yù)熱

l 無安裝方向限制

l 具有高重復(fù)性和高可靠性

l 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應(yīng)速度快

l 自帶溫度補償，補償范圍0-50℃

l 內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性

l 小封裝尺寸

量程及精度簡介

l 可用量程：

n 最大0-20slpm

n 最小0-10sccm

n 常備量程請參考選型表

l 量程比：100:1

l 滿量程精度：±0.5%

l 讀取精度：±1%

l 可重復(fù)性：±0.5%FS

l 響應(yīng)時間：＜100ms（調(diào)節(jié)PID控制參數(shù)可縮短響應(yīng)時間）

數(shù)字式設(shè)計簡介

G100C系列質(zhì)量流量控制器標(biāo)配高精度傳感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用標(biāo)準(zhǔn)的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485總線最高可擴展至255臺設(shè)備同時使用。

應(yīng)用領(lǐng)域

l 氣相和液相色譜儀

l 半導(dǎo)體工藝

l 環(huán)境監(jiān)測設(shè)備

l 微反應(yīng)裝置及材料制備實驗裝置（CVD）

l 氣體發(fā)生器

l 配氣混氣系統(tǒng)