橢圓偏光儀針對LCD、OLED等新型平板顯示量產(chǎn)中所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機發(fā)光薄膜、有機/無機封裝薄膜等質(zhì)量控制需要，專門設計的在線薄膜測量系統(tǒng)。橢偏在線監(jiān)測裝備可適用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件，自動實現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結構厚度分布、光學常數(shù)分布。
它可以通過檢測光線的電場振動方向和相位差來確定光線的偏振狀態(tài)，包括線偏振、圓偏振和橢偏振。主要由源、樣品、分析器和檢測器等組成。當光線經(jīng)過樣品后，會發(fā)生偏振狀態(tài)的變化，這時候通過旋轉(zhuǎn)分析器的角度來改變檢測器的接收光信號，并記錄下每個角度下的信號強度。對信號進行數(shù)學處理，就可以得到樣品對光線的偏振狀態(tài)造成的影響。
橢圓偏光儀由以下幾部分組成：
光源：通常使用白熾燈或鈉燈作為光源。這些光源可以發(fā)出連續(xù)譜或某個特定波長的單色光。
偏振器：偏振器可以將非偏振或線偏振的光轉(zhuǎn)化為具有確定偏振方向的偏振光。
樣品架：樣品架是用來放置待測樣品的位置。在偏光儀中，可以使用平板玻璃、晶體、薄膜等不同類型的樣品。
旋轉(zhuǎn)器：旋轉(zhuǎn)器是用來改變樣品在空間中的角度。通過測量樣品沿兩個軸的旋轉(zhuǎn)角度，可以得到樣品的折射率、厚度等信息。
分析器：分析器是另一個偏振器，用于檢測樣品對光的旋轉(zhuǎn)和線偏振狀態(tài)的影響。
探測器：探測器是用來測量樣品對光的吸收率和旋光率的。在不同的偏光儀中，使用的探測器也不同，有些使用電子倍增管，有些則使用像素陣列。
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