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kSA SpectR 光譜反射率測試儀

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更新時間:2024/07/04 16:25:50瀏覽次數:3523

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產品簡介

產地類別 進口 應用領域 環(huán)保,化工,生物產業(yè),能源,電子
這是一種用于測量光譜絕對反射率,L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測量設備。kSA SpectR 光譜反射率測試設備具有多種在線監(jiān)控和過程控制的應用功能,包括垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些復雜的設備結構。該設備主要應用于監(jiān)控測量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生產研究。

詳細介紹

kSA SpectR 光譜反射率測試設備是一種用于測量光譜絕對反射率,L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測量設備。該工具具有多種在線監(jiān)控和過程控制的應用功能,包括垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些復雜的設備結構。該設備主要應用于監(jiān)控測量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生產研究。


kSA SpectR 光譜反射率測試設備的光學鏡組被配置為鏡面反射的幾何形狀。在這種測量原理中,薄膜每生長出一個新layer,程序就會自動擬合,將已有的所有基底和薄膜layer視為一個新的虛擬基底。kSA SpectR可以同時以多個波長進行測量,每個波長都具有潛在的特性。此設備可在選定的波長范圍內測量自定義光譜特征,如反射率的最小值、最大值、拐點或基線散射水平。


測量實例

850 nm DBR的光譜反射率

kSA SpectR 光譜反射率測試儀


在GaAs襯底上生長250nm的AlAs和500nm的GaAs時,532和940nm下的反射率及其擬合曲線

kSA SpectR 光譜反射率測試儀


AlAs生長期間的生長速率,光學常數和反射率實時擬合曲線

kSA SpectR 光譜反射率測試儀

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AlAs和GaAs生長的未經校正的高溫計測量結果和經過校正的ECP溫度

kSA SpectR 光譜反射率測試儀


GaAs薄膜生長過程中單個反射率振蕩周期圖

kSA SpectR 光譜反射率測試儀




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