IFM輪廓感應(yīng)器

IFM輪廓感應(yīng)器技術(shù)簡(jiǎn)介：

米級(jí)表面輪廓傳感器

在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域試制和生產(chǎn)基片或元器件的過程中，需要檢測(cè)與控制它們的膜厚、表面輪廓和表面質(zhì)量。利用表面輪廓測(cè)量?jī)x，進(jìn)行接觸式測(cè)量是一種行之有效的方法。在大規(guī)模集成電路廣泛應(yīng)用的今天，研究開發(fā)高分辨力的表面輪廓傳感器具有現(xiàn)實(shí)意義。

為了分辨出納米級(jí)的微小位移和凹凸不平的表面輪廓，對(duì)傳感器的靈敏度與重復(fù)性、測(cè)量電路的抗干擾能力以及測(cè)量力和觸針曲率半徑等均提出很高的要求。

IFM感應(yīng)器工作原理：

傳感器的工作原理如右圖所示。傳感器鐵心位于線圈中間位置時(shí)，由線圈與激磁振蕩器輸出變壓器副邊組成的測(cè)量電橋其輸出電壓為零。當(dāng)觸針在試件表面上掃描時(shí)，若表面上凸，觸針帶動(dòng)鐵芯上移，上線圈電感量增加，下線圈電感量減小，電橋失去平衡，輸出與觸針位移成正比的信號(hào)電壓;若表面下凹，則輸出信號(hào)反相。該信號(hào)電壓經(jīng)前置放大后，通過同步積分器進(jìn)行濾波，再經(jīng)解調(diào)器將信號(hào)解調(diào)出來，獲得電壓幅值與觸針位移成正比、極性與移動(dòng)方向相對(duì)應(yīng)的直流電壓，再經(jīng)直流放大后輸至記錄儀(圖中未表示)進(jìn)行記錄。

折疊編輯本段一種新型傳感器在表面輪廓測(cè)量中的應(yīng)用

目前在生產(chǎn)和科學(xué)研究中，對(duì)于各種工程表面輪廓大多采用金剛石觸針測(cè)量。這種測(cè)量方法可靠性強(qiáng)，環(huán)境要求不高、價(jià)格低廉。但也存在以下缺點(diǎn):會(huì)劃傷工件表面，觸針不可避免會(huì)磨損，影響測(cè)量結(jié)果。軟金屬精密表面、含信息的表面以及某些不允許刻劃的表面等一般不宜采用觸針輪廓儀進(jìn)行測(cè)量。

為克服接觸式測(cè)量的缺點(diǎn)，采用非接觸測(cè)量方式的光針掃描輪廓儀得到了迅速發(fā)展。對(duì)于工程表面形貌的測(cè)量，聚焦式光針掃描輪廓儀是較理想的測(cè)量?jī)x器，目前已在工業(yè)生產(chǎn)中得到了應(yīng)用。然而這種輪廓儀由于受材料光學(xué)性能、工件安裝、傾斜程度及環(huán)境因素的影響較大，使用也受到限制。

由此可見，在生產(chǎn)中最好同時(shí)具備上述2種儀器，以滿足對(duì)工程表面測(cè)量的需要。目前金剛石觸針輪廓儀技術(shù)成熟，價(jià)格適中，在生產(chǎn)中應(yīng)用廣泛;光針掃描輪廓儀已有產(chǎn)品面市，但價(jià)格不菲，性能尚待完善，是表面測(cè)量領(lǐng)域重點(diǎn)研究開發(fā)的對(duì)象。因此，研究開發(fā)量程較大、價(jià)格較低，同時(shí)具有接觸式與非接觸式兩種測(cè)量方式的傳感器或儀器具有重要意義。

• 使用可見紅光，可輕松對(duì)準(zhǔn)

• 應(yīng)用于衛(wèi)生應(yīng)用的版本

• 應(yīng)用于檢查運(yùn)行、開關(guān)狀態(tài)和功能的LED 顯示

• 安裝進(jìn)行的設(shè)定過程可節(jié)約時(shí)間和成本

• 大量系統(tǒng)組件，可輕松和安全地安裝

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