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日本無掩膜光刻機(jī) 研發(fā)及小批量訂單利器

參   考   價(jià): ￥ 100000 ￥ 98000

訂  貨  量: 1 套 ≥2 套

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號PALET DDB-701

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

產(chǎn)品資料查看pdf文檔

所  在  地深圳市

更新時(shí)間：2024-12-04 16:51:38瀏覽次數(shù)：84次

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型號 PALET DDB-701 電源 220v
精度 3μm
日本桌面臺式無掩膜光刻機(jī) PALET DDB-701與傳統(tǒng)的光刻工藝中使用鉻玻璃掩膜板進(jìn)行光照不同，無掩模光刻技術(shù)是以軟件設(shè)計(jì)電子掩膜板的方法，通過電腦控制一系列激光脈沖的開關(guān)，在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。這種方式節(jié)省了制備光刻板所需要的時(shí)間和經(jīng)費(fèi)，并且可以實(shí)現(xiàn)對光刻結(jié)構(gòu)快速迭代的需求。日本無掩膜光刻機(jī) 研發(fā)及小批量訂單利器

桌面無掩模(直接曝光)光刻系統(tǒng)，通過其復(fù)雜的軟件支持簡單的光刻操作。

桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng) 電動 PALET DDB-701-DL,桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng) 電動 PALET DDB-701-DL

產(chǎn)品特點(diǎn)

硬件特性

小型化

內(nèi)置隔振機(jī)構(gòu)和真空吸油泵

只需要電源和光刻間

軟件特性

用戶方便型接口

簡易流程

支持對準(zhǔn)和暴露條件檢查*限制電動載物臺模型

型號

DDB-701-MS

DDB-701-DL

載物臺(Stage)

手動 XYZθ載物臺

電動 XYZθ載物臺

曝光光源

365nm (typ.) LED


Min. 線寬

3μm *1
15μm *2


單次曝光面積

1mm×0.6mm *1
5mm×3mm *2


每張照片曝光時(shí)間*3

1～2 sec. *1
15～30 sec. *2


Max. 曝光區(qū)域

25mm×25mm(手動連接)

25mm×25mm(自動連接)

可接受的工作尺寸

60mm ×60mm (t3mm)


相容文檔格式

DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS


主體尺寸

300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)


主機(jī)重量

30kg


*1在使用×10物鏡的情況下

*2在使用×2物鏡的情況下

*3曝光時(shí)間基于AZP系列光刻膠(t0.5mm)

日本無掩膜光刻機(jī) 研發(fā)及小批量訂單利器

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