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北京儀光科技有限公司

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Sensofar 重磅升級!ePSI算法+智能APM模塊,重新定義光學測量精度極限?

閱讀:12      發(fā)布時間:2025-10-28
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工業(yè)檢測領(lǐng)域再迎技術(shù)革新!S lynx 2全新升級版正式發(fā)布,以 「更好、更快、更智能」 為核心,融合光學技術(shù)與自動化工具,為3D光學計量學樹立新。無論面對光滑、階梯狀還是粗糙表面,它都能以亞納米級精度輕松應對。

Sensofar  重磅升級!ePSI算法+智能APM模塊,重新定義光學測量精度極限?



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技術(shù)跨越:ePSI算法開啟亞納米時代


Sensofar  重磅升級!ePSI算法+智能APM模塊,重新定義光學測量精度極限?

本次升級的核心亮點是全新 ePSI干涉算法 的加入。這項技術(shù)突破帶來三大革命性提升:

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精度躍遷:測量噪聲低至 0.1 nm(亞納米級),堪稱超光滑表面檢測的解決方案

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復雜表面征服者:對具有臺階或局部傾斜的樣品實現(xiàn)無失真成像

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抗干擾升級:消除傳統(tǒng)干涉測量中的條紋噪聲與相位突變問題

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智能進化:自動化程序模塊(APM)重塑工作流

全新設(shè)計的APM模塊讓復雜檢測流程變得前所的簡單:

Sensofar  重磅升級!ePSI算法+智能APM模塊,重新定義光學測量精度極限?

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配方革命:

單測量配方(SMR):一鍵保存全參數(shù)配置

多測量配方(MMR):在多個位置自動復現(xiàn)掃描程

2

效率倍增:

減少90%人工干預

批量檢測一致性提升200%

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場景適配:特別適用于圖案化晶圓、重復質(zhì)檢等高頻任務

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全能:多技術(shù)融合的精密引擎

S lynx 2的緊湊機身蘊藏驚人能量:

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技術(shù)矩陣:同時集成 多焦面疊加、共聚焦、干涉測量(含CSI與ePSI)

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智能切換:系統(tǒng)自動匹配最佳技術(shù)方案,告別手動調(diào)參

3

性能鐵三角:

速度 – 毫秒級響應

精度 – 亞納米級誤差

兼容性 – 全表面類型通吃

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為什么選擇升級版S lynx 2?

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航天級精度:0.1 nm分辨率滿足最嚴苛標準

2

智能減負:APM模塊讓操作員專注價值決策

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未來兼容:開放式架構(gòu)支持后續(xù)功

S lynx 2的升級不僅是硬件的迭代,更是光學計量智能化的重要里程碑。它正在全球頂尖實驗室和生產(chǎn)線中創(chuàng)造價值——您準備好擁抱這場精度革命了嗎? 


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