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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
布魯克Dektak 150表面輪廓儀多功能臺階儀
品牌：VEECO
產(chǎn)地：德國
產(chǎn)品型號：Dektak 150
規(guī)格：
測試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1*15 mg
使用N-lite傳感器：0.03*15 mg
探針選項(xiàng)：探針曲率半徑可選范圍：50 nm*25 um;
*徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動(dòng)X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動(dòng)校平；
可選Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
可選X-Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺，150 mm行程；
1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)：主機(jī)使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應(yīng)力測量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動(dòng)隔離裝置
可選臺式震動(dòng)隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm(2.1英寸)
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)*多12萬數(shù)據(jù)點(diǎn)
*大樣品厚度*達(dá)90 mm (4英寸)，取決于配置
*大晶圓尺寸 150 mm(6英寸)
臺階*度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標(biāo)準(zhǔn)524um(0.02英寸)；可選1mm
垂直分辨率：*大1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
無論是用于科學(xué)研究還是工業(yè)生產(chǎn)，Dektak 150探針式表面輪廓儀都具有業(yè)內(nèi)*好的表現(xiàn)性能，**的測量重復(fù)性以及*大的掃描范圍。Dektak 150集四十多年的技術(shù)積累和創(chuàng)新于*身，為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置。堅(jiān)固的鋁質(zhì)材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提*了儀器的重復(fù)*度，并降低了地板噪音對測量的干擾。基于Windows?XP的軟件用戶界面，使用戶迅速掌握Dektak 150。分析功能齊全，界面直觀，包括從簡便的*鍵"進(jìn)針即測量"，到多次掃描結(jié)果的自動(dòng)分析。通過選配三維成像附件套裝還可以極大地?cái)U(kuò)充儀器的功能。
布魯克Dektak 150表面輪廓儀多功能臺階儀
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