工作原理：

　　根據(jù)光波的干涉原理，儀器本身產(chǎn)生的可見光通過單色濾光片濾掉雜散光，變成了單一相位的光波，此光波通過掃描器掃描到被測量的光學(xué)材料上，與光學(xué)材料本身產(chǎn)生的光波發(fā)生了光波干涉，從而產(chǎn)生干涉條紋，兩個光波的波面間也產(chǎn)生連續(xù)的相位變化，干涉標(biāo)準(zhǔn)鏡和圖像采集器將獲取的干涉波的干涉條紋信號捕捉到后輸入計算機(jī)，經(jīng)專業(yè)軟件將獲取的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和擬合，在計算機(jī)顯示器上獲得了模擬的圖形，達(dá)到了光學(xué)材料的測量（彎度、平面、三維圖像）其精度可達(dá)3.5納米量級，掃描范圍擴(kuò)展到縱向20mm，且具有較高的自動化程度和目鏡可以更換的人性化設(shè)計。

　　

　　3D光學(xué)干涉輪廓儀其3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測量精度和測量重復(fù)性。測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，實現(xiàn)了快速批量測量的功能，自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。