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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
離子棒SIMCO思美高快速消除靜電
5635MP
Simco-lon Aerobar 5635 MP離子棒能提供快速靜電消散，低殘余電壓擺幅，和精準(zhǔn)的離子平衡，是設(shè)計(jì)用于有嚴(yán)格要求的半導(dǎo)體和超高潔凈制程環(huán)境。它采用MP技術(shù)-把高頻正弦周波和調(diào)制脈沖結(jié)合-產(chǎn)生高輸出量的離子和把它們推送至目標(biāo)表面，這技術(shù)的突破使5635MP離子棒能安裝在晶圓的15cm距離內(nèi)。同時(shí)配合超高潔凈的靜電針和精確的參數(shù)整，使它能達(dá)到ISO14644-12 (0.01 μm或納米等級(jí)微粒)和ISO 14644-1 Class 1 (0.1μm微粒)的潔凈度。選配的吹氣輔助功能，在潔凈要求不高的環(huán)境，能加快離子的推送，得到更快的消散時(shí)間和有更遠(yuǎn)的工作距離。
離子風(fēng)棒是種固定式的靜電消除專(zhuān)用的設(shè)備。其屬于棒式除靜電產(chǎn)品中的一種。其擁有工作安全穩(wěn)定、安裝簡(jiǎn)易、去除靜電速度較快等特點(diǎn)。目前主要作用于電子、絲印、塑膠、圖像處理、印前系統(tǒng)之類(lèi)的行業(yè)。
●ISO 14644- 12 (0.01 um微粒)潔凈度
●調(diào)制脈沖技術(shù)
●合適的橫向均勻度
●低電場(chǎng)電壓
●吹氣輔助功能
●選配的軟件有易用的界面和寬闊的可調(diào)性
●警報(bào)輸出信號(hào)
優(yōu)點(diǎn)
●可兼容包括14 nm和以下的所有晶圓技術(shù)
●精準(zhǔn)的正負(fù)平衡，和長(zhǎng)期穩(wěn)定高離子輸出量
●整根棒的離子平衡都- -致
●可安全靠近晶圓或光罩，放置距離可近至15 cm
●在快速的自動(dòng)設(shè)備，能增強(qiáng)消除靜電的能力
●在任何環(huán)境都能快速設(shè)定和容易調(diào)至最佳效能
●能輸出至設(shè)備或遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)
產(chǎn)品圖片
離子棒SIMCO思美高快速消除靜電
