目錄:納特斯(蘇州)科技有限公司>>納米定位臺>>高負(fù)載平臺>> HF-5-5高負(fù)載平臺
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,航空航天,電氣 | 
|---|
HF-5-5高負(fù)載平臺的行程為5mm,重量為105g。
| 概觀 | |
|---|---|
| 自由度 | 1 | 
| 行程[mm] | 5 | 
| 最大升力[N] | 5 | 
| 初始尺寸[mm] | 40 x 25 x 38 | 
| 重量[g] | 105 | 
| 定位性能 | |
| 開環(huán)最大速度[mm/s] | 2 | 
| 開環(huán)定位分辨率[nm] | <1 | 
| 閉環(huán)定位分辨率[nm] | 2 | 
| 閉環(huán)重定位精度[nm] | ±60 | 
| 選配 | |
| 材質(zhì) | 標(biāo)配為鋁底座;可選配鋼座(-ST)、鈦基(-TI);均黑色陽極氧化(-BK) | 
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar | 
| 高真空兼容 (UHV) | 1E-10mbar | 
| 無磁 | 可根據(jù)要求定制 | 
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)