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氦離子氣相色譜儀檢測硅烷類氣體純度
電子氣體（Electronicgases）是半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體的統(tǒng)稱，按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。按純度等級和使用場合，電子氣體可分為電子級，LSI（大規(guī)模集成電路）級，VLSI（超大規(guī)模集成電路）級和ULS（特大規(guī)模集成電路）級。電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件，化合物半導(dǎo)體器件，太陽能電池，光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)*的原材料，廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。
硅烷，即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更的硅氫化合物，是一種氣體源，也可用于制造各種高純度金屬硅化物。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和*的燃燒能量，決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。而就目前的工業(yè)發(fā)展來看，硅烷的需求量越來越大，質(zhì)量要求也越來越高, 這就要求生產(chǎn)企業(yè)做好產(chǎn)品質(zhì)量檢測, 嚴(yán)控生產(chǎn)工藝，減少雜質(zhì)。
由于硅烷極易被氧化，遇空氣即可自燃，因此，對它的分析便需要更加安全、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)姆椒ā?/span>
儀器設(shè)備
GC5890H氦離子氣相色譜儀（南京科捷分析儀器有限公司）配備VALCO公司的PDHID檢測器，適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，儀器配備*高靈敏的氦離子化檢測器，進(jìn)樣閥采用*的帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥，連同*的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體解決方案。特別適合*氣體的分析，能夠檢測至ng/（ppb)）級。
兩根Φ3×1m不銹鋼色譜柱，一根內(nèi)填60~80目高分子聚合物，一根內(nèi)填60~80目分子篩。
樣品和尾氣處理系統(tǒng)：整個(gè)取樣系統(tǒng)為吹掃加抽真空以確保系統(tǒng)中無O2 存在，如下取樣和尾氣處理系統(tǒng)氣路流程圖，電磁閥和微型真空泵的應(yīng)用使整個(gè)系統(tǒng)通過電腦即可完成吹掃、取樣、進(jìn)樣的一系列操作。
分析條件：
檢測器溫度：120℃
爐溫：60℃
載氣：氦氣
流速：Ⅰ：30mL/min；Ⅱ：30mL/min
進(jìn)樣量：1mL
分析流程：
（1）打開硅烷取樣系統(tǒng), 排出空氣；
?。?/span>2）樣品*充滿, 啟動(dòng)儀器, 進(jìn)樣閥進(jìn)樣；
?。?/span>3）經(jīng)取樣系統(tǒng)的樣品被處理完后, 關(guān)閉取樣系統(tǒng)；
?。?/span>4）定量管中的樣品在載氣帶動(dòng)下進(jìn)入色譜柱分離，依次被檢測，儀器啟動(dòng)同時(shí)工作站也被啟動(dòng), 開始采集信號并記錄譜圖信息。