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Sierra的SmartTrak 100熱質(zhì)量流量控制器是一款多氣體數(shù)字MFC,旨在提供您每次可依靠的平穩(wěn),穩(wěn)定,準(zhǔn)確和可重復(fù)的氣體質(zhì)量流量控制。不受上游氣體溫度和壓力波動的影響,Sierra SmartTrak 100的氣體質(zhì)量流量控制是直接而明確的。SmartTrak已獲得CE認(rèn)證,可在您 的較大流量范圍(高達(dá)1000 slpm或更高)下使用,具有各種尺寸,工業(yè)防水外殼,工作壓力和溫度以及行業(yè)尺寸。
采用熱技術(shù)的直接質(zhì)量流量+/- 0.5%滿量程精度。
多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器。
50 slpm的占地面積小,非常適合OEM。
主要標(biāo)準(zhǔn)的10點(diǎn)NIST校準(zhǔn)。
所有清潔氣體,包括有毒和腐蝕性
高精度:滿量程的+/- 0.5%
精度:滿量程的+/- 1%
重復(fù)性:滿量程的+/- 0.2%
流量范圍從0-10 sccm到0-1000 slpm(nlpm)
更高和更低的流量范圍
壓力至500 psig(34.5 barg)
氣體/環(huán)境溫度32°F至122°F(0°C至50 C)
響應(yīng)時(shí)間:300ms時(shí)間常數(shù):2秒(典型值),在終值的±2%之內(nèi)(包括建立時(shí)間),根據(jù)要求提供更快或更慢的速度
24 VDC電源
密封件:Viton,Neoprene,Karlez
316不銹鋼結(jié)構(gòu)
包括模擬或數(shù)字信號:RS-232,RS-485(多點(diǎn)),0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
數(shù)字通信: 基金會現(xiàn)場總線 和 Modbus RTU
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