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靜電卡盤
在半導(dǎo)體和液晶面板制造過程中,真空吸盤和機械吸盤系統(tǒng)通常用于固定基板以進行處理。然而,由于吸附、變形的影響以及對提高可靠性的要求,利用靜電力的卡盤已被廣泛采用在當今一代半晶圓設(shè)備中以克服這些限制。
靜電吸盤由帶有表面電極的壓盤組成,這些電極被高壓偏置以在壓盤和晶片之間建立靜電力。
原裝spellman靜電卡盤 夾具
靜電卡盤
在半導(dǎo)體和液晶面板制造過程中,真空吸盤和機械吸盤系統(tǒng)通常用于固定基板以進行處理。然而,由于吸附、變形的影響以及對提高可靠性的要求,利用靜電力的卡盤已被廣泛采用在當今一代半晶圓設(shè)備中以克服這些限制。原裝spellman靜電卡盤 夾具
靜電吸盤由帶有表面電極的壓盤組成,這些電極被高壓偏置以在壓盤和晶片之間建立靜電力。
靜電卡盤有2種類型:Coulomb 和 Johnsen-Rahbek (J-R) 類型。它們的區(qū)別在于它們的介電特性,因此為產(chǎn)生夾緊力的方式。Coulomb卡盤的功能類似于傳統(tǒng)的介電電容器。原裝spellman靜電卡盤 夾具
J-R 型電阻大但有限,因此當表面緊密接觸并施加電壓時,電流會流過它和基板。 電荷積聚在基板和電介質(zhì)之間的界面,提供夾持力。
此外,夾頭上電極(或極點)的不同配置用于獲得不同的特性。 可根據(jù)應(yīng)用提供單極、雙極(兩極)和多極卡盤(包括 6 相六極類型)。
Spellman 可為全系列電子卡盤提供電源,其功能包括:
高壓雙極輸出(正/負),
輸出極性反轉(zhuǎn)功能,使晶圓夾持/脫夾持更容易,127 / 5000
通過電容測量(Coulomb卡盤)或電流測量(J-R 卡盤)檢測晶片狀態(tài)的能力,
模擬和數(shù)字接口,可輕松集成到各種系統(tǒng)中,
高可靠性,機械繼電器自由設(shè)計。
斯派曼提供廣泛的設(shè)計知識和制造能力,因此可以提供廣泛的定制產(chǎn)品以滿足各種要求。根據(jù)應(yīng)用,這可能還包括諸如高壓偏置/偏移和 R.F. 過濾